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世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究

在航天领域，常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量，其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下，并且待测压力微小，此外还要求小型化、低功耗，故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。

对此，可以将四个车窗打一条细缝，将部分车内污浊的空气驱除，这对启空调暖风之后感觉胸口发闷的症状，会得到有效缓解。另外，空调时多使用外循环，这样可以保证外界的新鲜空气源源不断地输入车内。汽车的空调系统的好坏对汽车的使用至关重要，而车身的整体的气密性将直接影响到空调系统工作的效率。在进行汽车检测时，打车内的空调系统（运行一段时间），再使用飒特红外热像仪将整车的热图拍摄下来。如果汽车车门、玻璃衔接处等发生气密泄漏，则可以看到此处的温度和外界环境温度并不一样。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等，因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*，且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段，使其能够适应高温环境，即能*终满足测试的要求。

高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高温材料外壳和支撑架，部件连接采用固体焊接等耐高温工艺，实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量，并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施，提高了抗冲击、振动能力。
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一般情况下，在夏天时都是将输漆间温度往下调整，使洁净室达到相对喷房空调的28C，那么一方面因为与输漆间的温度差异有4C，意味着输漆间环境温度要调整到24C，这样温度调整后会使输漆间内循环的油漆温度降到24C，那么油漆输送到喷房后，喷房空调温度又是28℃，喷房环境温度和施工油漆温度差异太大，会带来一系列质量问题。另一方面空调冷冻机又要调整到比输漆间更低的温度，要浪费更多的电能去降低冷冻水的温度，造成生产成本升高。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境，我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统，通过高低温真空试验装置和人机软件的结合，为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。

1、传感器测量原理

(1) 微压力测量原理

高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理，根据Fabry-Perot共振效应，F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示，为传感器原理示意图，感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理，压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变，从而改变F-P腔腔长，引起干涉谱变化，通过测量干涉光谱，即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化，从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高，可感受两个镜面之间纳米级的位移变化，可满足500 Pa微小压力的测量需要。

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某小区发商的地暖是统一的，从去年冬天至今漏水已经持续了几个月，可以看到漏水导致的房屋破坏非常严重了，亟待找出漏水原因。地暖漏水严重破坏房屋墙体未使用红外热像仪前，通常行业内的法是通过给各分管路打压，经过一段时间内管道内压力的变化值，判断该路管道是否有失压漏水嫌疑。但这种方法的问题在于，只能判断哪一路地暖盘管可能漏水，却无法准确漏水点，这给地暖检修带来了非常大的困难。如果盲目凿地面寻找漏水点，只会带来更大的损失。

(2) 传感器的仪器校准原理

在传感器探头确定的情况下，参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得，而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。

将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境，通过标准具得到压力、温度的标准量，通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线，再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线，用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系，从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较，可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。

轻工实验室内蒙古-电话构筑更加安全的安检体系，是机场安检行业的持续追求。毫米波安检技术的快速更新和相关安检仪产品的不断迭代，近年来为该行业了的新应用亮点。毫米波安检仪对非金属材料的探测能力受到广泛好评，对人体的安全性、非接触性的测量过程、和直观的性能参数，也受到用户的积极反响。世界各国/区域的民航局积极推出相应的认证标准和许可证，欧洲民航会议ECAC的版本1和2，美国交通运输安全局TSA的认证，以及我国民航局的民航安检设备许可证制度。