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世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究

在航天领域，常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量，其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下，并且待测压力微小，此外还要求小型化、低功耗，故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。

新能源电机的转速越高，相对功率越大，在电机启动时，输出扭矩大，响应更快，加速性能更好，像比亚迪、长安汽车等企业提出新能源汽车车型加速时间5秒以内，加速性能比现有同级别传统汽车普遍偏高。总体看，新能源汽车由电机驱动，加速性能具有先天优势，随着技术水平的提升，新能源电机转速越来越高，未来新能源汽车的加速时间将大幅降低，加速犀利无比。同时，随着新能源电机转速的提升，功率密度提高，效率越来越高，电机区间就越宽泛，如下图。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等，因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*，且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段，使其能够适应高温环境，即能*终满足测试的要求。

高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高温材料外壳和支撑架，部件连接采用固体焊接等耐高温工艺，实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量，并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施，提高了抗冲击、振动能力。
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在大多数频谱分析仪中，RBW控制功能会根据用户配置的频宽自动设置。在OTA测量中，应降低RBW值，以查看可能影响受扰接收机的小信号。这种组合导致大多数电池供电的频谱分析仪的扫描速率非常低，即其不可能看到导致干扰的小的间歇性瞬态信号。实时频谱分析仪解决了这个问题，它能够使用RBW较窄的滤波器测量频谱，速度要快于基本扫频分析仪。显示了LTE信号在空中传送(OTA)时的结果。在这种情况下，频宽被设置成40MHz，默认RBW为300kHz。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境，我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统，通过高低温真空试验装置和人机软件的结合，为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。

1、传感器测量原理

(1) 微压力测量原理

高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理，根据Fabry-Perot共振效应，F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示，为传感器原理示意图，感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理，压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变，从而改变F-P腔腔长，引起干涉谱变化，通过测量干涉光谱，即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化，从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高，可感受两个镜面之间纳米级的位移变化，可满足500 Pa微小压力的测量需要。

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不需要“先进”数字测试性能；但对于测试灵活性和功能的需求较大的情况，高速数字模块则尤其重要。测试系统和相关的数字子系统可以支持传统和当代电子组件组合的测试，因为这种测试系统被广泛用于现场服务产品以及在工厂中测试新代产品。更具体地说，现场部署的测试系统（中所示的VIPER/T）具有尺寸和功耗的附加限制—要求系统具有便携式，并且具有高可靠性。：VIPER/T测试系统数字子系统相关的功能包括：支持至少50MHz的矢量速率，每个引脚的时序，多个时间集和灵活的定序器。

(2) 传感器的仪器校准原理

在传感器探头确定的情况下，参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得，而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。

将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境，通过标准具得到压力、温度的标准量，通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线，再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线，用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系，从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较，可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。

无线电实验室铜陵-费用多少检测仪作为预防泄漏 常用的检测仪器，在工业上的应用十分广泛，主要为工业危害应急所用。那么，检测仪能实现哪些危险环境下的检测要求泄漏检测：设备管道现场所泄漏检测报，设备管道运行检漏，防止泄漏，避免工作人员中。施工检修检测：设备检修置换后检测是否残留有有害，特别是批量堆放检测更为重要。现场应急检测：生产现场出现异常情况或者事故时，比如罐倾倒造成泄漏，为了安全要对有害浓度进行检测。