测试设备校正成都-审厂

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测试设备校正成都-审厂 测试设备校正校准过程中，校准点数通常取6～11，校准循环次数通常取3～5，具体大小取决于被校传感器的精度和使用要求。

2、校准实验系统设计

仪器校准实验系统由高低温真空试验装置和上位机人机软件组成，其中使用压力薄膜规和镍铬热电偶分别作为压力、温度参量基准，使用解调模块读出被校传感器的输出，系统结构如图2所示。

IoTCloudPlatform：无联网云DeviceSensors/Actuators：设备传感器/执行器NetworkGateway：网关Applications：应用各元素有其自身特定的硬件和软件要求：简化的物联网视图当今物联网的简化视图如所示。左边是物联网中 显而易见的“联接的”设备。

(1) 高低温真空实验装置

高低温真空实验装置是为了模拟传感器实际测量环境而专门设计的，可以实现压力、温度的复合加载，由腔体、压力控制系统、温度控制系统和水冷循环系统等部分组成。

1) 腔体结构

腔体是高低温试验装置的核心部分，通过隔板分为载荷室和环境室两个腔室。载荷室模拟传感器前端接触到的外界环境，如高温、近真空、微小压力，即壳体外表面环境;环境室模拟传感器后端的工作环境，也就是壳体内部的环境。腔室结构示意图如图3所示。

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绝缘变差而引入的误差如热电偶绝缘了，保护管和拉线板污垢或盐渣过多致使热电偶极间与炉壁间绝缘 ，在高温下更为严重，这不仅会引起热电势的损耗而且还会引入干扰，由此引起的误差有时可达上百度。热惰性引入的误差由于热电偶的热惰性使仪表的指示值落后于被测温度的变化，在进行快速测量时这种影响尤为突出。所以应尽可能采用热电极较细、保护管直径较小的热电偶。测温环境许可时，甚至可将保护管取去。由于存在测量滞后，用热电偶检测出的温度波动的振幅较炉温波动的振幅小。

为了实现对载荷室温度、压力的复合加载，在载荷室的四周放置镍铬加热板加热，并带有热屏蔽板，使用两根镍铬热电偶测量载荷室环境温度，作为参考温度基准。在室温～375℃的范围内，其测量精度为±1.5℃;在375～800℃的范围内，其测量精度为0.4%。通过压力控制系统调节载荷室内环境压力，使用MKS公司626系列压力薄膜规作为参考压力基准，其压力测量范围0.2～266 Pa,测量精度0.12%。

2) 压力控制系统

压力控制系统能够将载荷室和环境室抽至高真空状态，此外还可以调节载荷室内环境压力。它由机械泵、分子泵、限流阀、压控仪、气体流量计等部件组成。其中限流阀、压控仪用于腔室内压力的控制，气体流量计用于调节补气流量大小。

系统控制逻辑如图4所示。压控仪接收参数设置信号，与薄膜规测量信号进行比较，根据比较结果调节限流阀度的大小，经过不断地调节控制*终达到动态平衡，使得载荷室内气压等于设定压力值。此外，可以根据设定压力的大小调节补气阀度大小，例如若要达到一个较大的压力值，则可以适当增大补气流量，使得载荷室内气压更快地上升到设定压力。

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电源完整性(PI)是电子行业中广泛使用的一个术语，可分析系统内部电源从源端向负载转换和传输的效率。随着数字信号速率的不断提升，特别是提升到10Gbps以上数量级后，电源完整性的测量成为关键测试项目之一。测量内容PARD—周期和随机偏差，描述了在其他所有参数均为常数时直流输出与直流平均值的偏差，用来衡量直流输出经过电压调整和滤波电路之后所残留的多余的交流和噪声分量。负载响应—指一个静态或瞬态负载，根据预先确定的负载可以衡量电源维持在输出电压范围内的能力。

3) 温度控制系统

系统采用镍铬加热板加热，通过调节加热电流的大小达到控温的目的。加热电源采用PID控制系统，可以使载荷室从室温快速加温到800℃，并且温度可调、控温。

4) 水冷循环系统

系统配有水冷循环系统用于系统整体的冷却，其中载荷室配置TC WS制冷循环水机，控温范围为10～27℃，给腔室、分子泵等稳定的制冷循环水，保证设备稳定运行。

(2) 上位机人机软件

为了方便高温微压力传感器的仪器校准试验，我们使用FameView组态软件编写了上位机人机软件。该软件主要用于实时监控载荷室和环境室的由于所有的物体均发射热辐射，热辐射是物体温度的函数，该数据可用来以一种非接触的方式决定物体的确切温度。整个云台通过以太网与机器人主控电脑连接，主控制器通过网络对红外热成像、高清相机和云台运动进行控制。热成像输出CVBS模拟和高清相机数字通过压缩板进行H264编码压缩，再传输到主控电脑。热成像测温数据通过以太网接穿透压缩板直达主控制器，向主控制器每秒多帧的全屏测温数据、温信息，同时也根据被测温设备特性从主控制获取辐射率、距离、区域信息等，结合机器人的预置位能力，可以有效保证测温的准确性和多次测温数据的数据可对比性。压力、温度状况，此外还具有数据存储功能。软件通过RS232协议与PLC进行通信，经由PLC控制高低温真空试验装置各个组件，实现了通过计算机远程控制的目的。

图5为该软件载荷室压力监控界面，当压力设定增大时，由于需要补气故响应速度较慢，相比之下，压力设定减小时响应迅速。

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DC-DC模块因为其效率高，体积小广泛应用于各种电子产品中，在其研发、生产和检验验收阶段都需要测试其主要的技术指标，如源效应，负载效应和准确度等。在测试时，其需要一个可调的直流电源激励。以源效应为例，其测试示意图如所示。DC-DC源效应测试示意图以电科43所研制的HTR28系列DC-DC模块为例，其输入直流电压范围为16V?40V。在测试其源效应时，就需要将可调直流电源的输入从16V调节到40V，通常是采用旋转编码器来调节可调直流电源的电压输出的，在这么宽的范围内调节，调节需要一定的时间，不能直接从一个电压跳变到另一个电压，采用程控直流电源作为可调直流电源就能够很好解决这个问题。