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世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究

在航天领域，常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量，其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下，并且待测压力微小，此外还要求小型化、低功耗，故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。

θjA是相对于环境温度的结点热阻抗，基于印刷电路板(摄氏度/W)的封装，通常是在150℃的典型结温(有些部件的结温可能较低，需在数据表上确认)条件下计算出来的。所需θjA应为如下方程式：≤(结温-工作温度)/Pd(等式2)。滤掉封装中的器件，这样θjA比满足此初始结温要求的上述计算结果要低。在结温时操作会影响其可靠性。视电路板、气流、环境和附近的其他热源而定，留一定的余量始终是一个很好的设计实践。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等，因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*，且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段，使其能够适应高温环境，即能*终满足测试的要求。

高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高温材料外壳和支撑架，部件连接采用固体焊接等耐高温工艺，实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量，并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施，提高了抗冲击、振动能力。
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结构与等效电路本文提出的新型CMRC平面结构如所示，其LC等效电路模型如所示。介质基板采用TaconicCER_1，其介电常数er=9.5,厚度.64mm。图CMRC的平面结构图LC等效电路模型滤波器特性分析主要结构参数对传输特性的影响我们对所示CMRC结构应用HFSS进行建模以及，并分析了主要结构参数对滤波器传输特性的影响。在中我们发现xy1以及y2对滤波器传输特性的影响较大，其影响特性曲线如至所示，由和可知减小x1和y1可以降低谐振频率，从而相应的可以减小低通频率范围，这是因为在等效电路模型中，减小x1或y1都可以提高单位长度的分布串联电感(L和L1)。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境，我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统，通过高低温真空试验装置和人机软件的结合，为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。

1、传感器测量原理

(1) 微压力测量原理

高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理，根据Fabry-Perot共振效应，F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示，为传感器原理示意图，感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理，压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变，从而改变F-P腔腔长，引起干涉谱变化，通过测量干涉光谱，即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化，从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高，可感受两个镜面之间纳米级的位移变化，可满足500 Pa微小压力的测量需要。

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平面低通滤波器简介随着现在微波链路越来越高频化，小型化，直接在链路中集成低通的现象越来越普遍。同时很多芯片化的低通也大都是在高介电陶瓷片上实现的微带滤波器。陶瓷片型的芯片电容，电感，均衡器都需要用到平面低通的设计概念。常见的低通滤波器在ADS中的模型及结构形式见。常见的平面结构低通滤波器三种结构的优缺点对比见表1，通常对要求比较高的设计时可综合三种结构的优缺点进行折中设计。表1三种结构优缺点对比2.平面低通滤波器设计的理论基础本次总结的理论基础来源，核心理论为的高低阻抗线等效电路。

(2) 传感器的仪器校准原理

在传感器探头确定的情况下，参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得，而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。

将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境，通过标准具得到压力、温度的标准量，通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线，再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线，用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系，从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较，可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。

计量器具校准安康-电话有必要采用一些其他方法来提高传导EMI的性能。本文主要讨论的是引入输入滤波器来滤除噪声，或增加屏蔽罩来锁住噪声。EMI滤波器示意简图是一个简化的EMI滤波器，包括共模（CM）滤波器和差模（DM）滤波器。通常，DM滤波器主要用于滤除小于30MHz的噪声（DM噪声），CM滤波器主要用于滤除30MHz至100MHz的噪声（CM噪声）。但其实这两个滤波器对于整个频段的EMI噪声都有一定的作用。显示了一个不带滤波器的输入引线噪声，包括正向噪声和负向噪声，并标注了这些噪声的峰值水平和平均水平。