计量器具校准吉安-CNAS检测机构

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世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究
在航天领域,常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量,其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下,并且待测压力微小,此外还要求小型化、低功耗,故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。

电路设计是传感器性能是否优越的关键因素,由于传感器输出端都是很微小的信号,如果因为噪声导致有用的信号被淹没,那就得不偿失了,所以加强传感器电路的抗干扰设计尤为重要。在这之前,我们必须了解传感器电路噪声的来源,以便找出更好的方法来降低噪声。总的来说,传感器电路噪声主要有一下七种:低频噪声低频噪声主要是由于内部的导电微粒不连续造成的。特别是碳膜电阻,其碳质材料内部存在许多微小颗粒,颗粒之间是不连续的,在电流流过时,会使电阻的导电率发生变化引起电流的变化,产生类似接触 的闪爆电弧。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等,因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*,且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段,使其能够适应高温环境,即能*终满足测试的要求。
高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理,使用耐高温材料外壳和支撑架,部件连接采用固体焊接等耐高温工艺,实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量,并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施,提高了抗冲击、振动能力。
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称重示值不准。造成此现象的原因是:性体曾被摔撞过,造成性体内产生应力;或者性体局部断裂,致使称重载荷作用在性体上时,性体产生的应变不是线性的,导致数字不准;供桥电压过高,造成电阻应变片过热,使应变片的粘胶受损坏,或使应变片的阻值改变,导致读数不准;环境因素的影响。电子计价秤曾在高温或潮湿的环境中使用,造成应变桥路与性体之间的绝缘电阻值下降;性体疲劳过度,使性体失去应有的应力变化范围。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境,我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统,通过高低温真空试验装置和人机软件的结合,为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。
1、传感器测量原理
(1) 微压力测量原理
高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理,根据Fabry-Perot共振效应,F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示,为传感器原理示意图,感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理,压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变,从而改变F-P腔腔长,引起干涉谱变化,通过测量干涉光谱,即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化,从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高,可感受两个镜面之间纳米级的位移变化,可满足500 Pa微小压力的测量需要。
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为增大仪器可测量的范围(动态范围),绝大多数测量仪器都会设置多个量程,以满足不同情况下测量不同大小信号的需求。当使用大量程测试小信号时会有什么结果呢?很多人回答会造成误差增大,但往往说不上来原因,今天我们将会带大家深入讨论一下这样使用带来的影响和原因。许多人认为大量程可测量的范围很大,大小信号都可以兼顾,因此在很多情况下都优先选择较大的量程进行测量,或者不注意选择,直接默认设置,如此使用时,仪器测量的值依然能正常显示,看起来数值也似乎还算准确。
(2) 传感器的仪器校准原理
在传感器探头确定的情况下,参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得,而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。
将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境,通过标准具得到压力、温度的标准量,通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线,再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线,用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系,从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较,可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。

计量器具校准吉安-CNAS检测机构由于实际应用中的热量,需要测量MOX涂层在真空下的电阻值,然后测量MOX涂层在空气中存在一定量的目标气体(以ppm测试)的情况下的电阻值,两者的比值作为校准设备的依据。在实际操作中,校准的MOX电阻测量是对环境中目标气体密度的指示。对传感器加热器和MOX测量值的控制,就好比对设备寄存器的读/写,由控制器ASIC执行,而ASIC又由测试系统通过I2C接口进行控制。I2C接口是四线制总线,由两个I2C总线(SCL和SDA)、中断信号和复位信号组成。

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