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世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究

在航天领域，常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量，其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下，并且待测压力微小，此外还要求小型化、低功耗，故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。

下面我们就看看PA系列功率分析仪是如何实现电压电流的同步测量的。PA系列功率分析仪的系统架构图，从图中可以看到一个非常关键的内容——100MHz同步时钟。与万用表不同，功率分析仪需要同时测试电压、电流信号，并且可能同时测试多达7通道电压、电流以计算得到7路电功率。要实现电功率的准确测量，则必须保证测量电压、电流的同步性，即电压和电流信号经过ADC数字化过程中每一个采样点都必须发生在同一时刻，否则就无法保证测量精度。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等，因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*，且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段，使其能够适应高温环境，即能*终满足测试的要求。

高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高温材料外壳和支撑架，部件连接采用固体焊接等耐高温工艺，实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量，并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施，提高了抗冲击、振动能力。
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一直以来，工程师关注的一个重点就是波形的稳定性分析。然而在对波形的长时间监控中，突发的数据干扰往往难以捕捉，就成为了许多工程师的心头之患。本文介绍几种实用分析功能，协助工程师们快速异常数据的位置。查看波形是电子测量仪器 常用的一个功能。为了确保波形是否稳定运行，工程师们往往需要对观测信号进行长时间的采样检测，本文介绍ZDL6示波 常用的3种波形异常检测功能，可以通过这3种功能迅速到异常数据的发生位置，大大提高测试效率。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境，我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统，通过高低温真空试验装置和人机软件的结合，为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。

1、传感器测量原理

(1) 微压力测量原理

高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理，根据Fabry-Perot共振效应，F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示，为传感器原理示意图，感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理，压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变，从而改变F-P腔腔长，引起干涉谱变化，通过测量干涉光谱，即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化，从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高，可感受两个镜面之间纳米级的位移变化，可满足500 Pa微小压力的测量需要。

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ZLG致远电子ZDL6000示波 了20G存储深度，可持续采集20余天的数据，解决用户数据监测问题。基于“实时运算+触发+搜索”功能，用户可 捕获突发异常。配合“动作/Go-NoGo”功能，在异常出现时，用户可时间通过报、邮件等方式获得通知，设备可自动以图片或数据文件方式保存异常现场，极大的提升问题与解决效率。除此之外ZDL6000示波 延续了ZDS系列示波器的用户体验，在满足大数据记录与异常需求的同时，保证了灵活的示波分析功能，可谓是同时将示波分析与大数据记录到了完用户体验。

(2) 传感器的仪器校准原理

在传感器探头确定的情况下，参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得，而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。

将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境，通过标准具得到压力、温度的标准量，通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线，再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线，用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系，从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较，可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。

仪器计量郴州-认证单位文中尝试通过谐振电路改变传感器的输出信号，从信号源头增大传感器灵敏度。这种方法相当于对传感器本身进行，使得它还可以与其他技术如：传感器激励源、输出信号、计算机软件补偿等兼容以共同提高整个系统的性能。后电路的模型建立1.1半桥式电路如果没有C1和C2为普通半桥电路，虚线框中为电感传感器的等效电路，传感器测头的位移带动螺线管中铁芯上下，从而改变上下两个线圈的电感值。将两线圈等效成纯电阻和纯电感的串联，如图中R1和L1组成上线圈，R2和L2组成下线圈，输出接在上线圈上。