测试仪表校正揭阳-审厂

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测试仪表校正揭阳-审厂测试仪表校正校准过程中，校准点数通常取6～11，校准循环次数通常取3～5，具体大小取决于被校传感器的精度和使用要求。

2、校准实验系统设计

仪器校准实验系统由高低温真空试验装置和上位机人机软件组成，其中使用压力薄膜规和镍铬热电偶分别作为压力、温度参量基准，使用解调模块读出被校传感器的输出，系统结构如图2所示。

测试图IT6500C/D模拟量接口其中6脚可输出同步信号，当电源输出On时，该引脚输出高电平；当电源输出Off时，该引脚输出为低电平；可用于其他设备On/Off同步控制，驱动能力为5V/5mA。电源上升时间的测试电源上升时间与机时间的区别，上升时间（RiseTime）：电压从没有上升至稳定的这段时间（一般量测输出电压的上下限为10%~90%或5%~95%），如上图所示，Va为输出电压的10%，Vb为输出电压的90%，Va，Vb之间的时间即为机电压上升时间。

(1) 高低温真空实验装置

高低温真空实验装置是为了模拟传感器实际测量环境而专门设计的，可以实现压力、温度的复合加载，由腔体、压力控制系统、温度控制系统和水冷循环系统等部分组成。

1) 腔体结构

腔体是高低温试验装置的核心部分，通过隔板分为载荷室和环境室两个腔室。载荷室模拟传感器前端接触到的外界环境，如高温、近真空、微小压力，即壳体外表面环境;环境室模拟传感器后端的工作环境，也就是壳体内部的环境。腔室结构示意图如图3所示。

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以铝板中Lamb波的传播为例,其频散曲线可采用半解析有限元法求得,只需要在波导介质的截面上作有限元离散,而沿波导介质传播方向的位移则以简谐波的振动方式表示,在对介质截面进行有限元离散后,根据哈密顿原理可以推导出导波在介质中的波动方程,求解特征值可以得到波数和频率的关系,进而绘制出频散曲线。通过半解析有限元法,以铝板厚度d＝0.8mm绘制铝板中导波的相速度和群速度频散曲线,得到的模态分布分别如图2,3所示。

为了实现对载荷室温度、压力的复合加载，在载荷室的四周放置镍铬加热板加热，并带有热屏蔽板，使用两根镍铬热电偶测量载荷室环境温度，作为参考温度基准。在室温～375℃的范围内，其 ，其测量精度为0.4%。通过压力控制系统调节载荷室内环境压力，使用MKS公司626系列压力薄膜规作为参考压力基准，其压力测量范围0.2～266 Pa,测量精度0.12%。

2) 压力控制系统

压力控制系统能够将载荷室和环境室抽至高真空状态，此外还可以调节载荷室内环境压力。它由机械泵、分子泵、限流阀、压控仪、气体流量计等部件组成。其中限流阀、压控仪用于腔室内压力的控制，气体流量计用于调节补气流量大小。

系统控制逻辑如图4所示。压控仪接收参数设置信号，与薄膜规测量信号进行比较，根据比较结果调节限流阀度的大小，经过不断地调节控制*终达到动态平衡，使得载荷室内气压等于设定压力值。此外，可以根据设定压力的大小调节补气阀度大小，例如若要达到一个较大的压力值，则可以适当增大补气流量，使得载荷室内气压更快地上升到设定压力。

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MEMS技术应用使得金属氧化物(MOX)气体传感器在晶圆级大规模生产中得以广泛应用，大大降低了硅晶圆的成本。这些气体传感器装置适用于 (CO)和各种挥发性有机化合物，如：如乙、和甲的测量。出于健康和安全考虑，这些传感器的应用主要包括环境监测、生物研究、工业控制、便携式酒精测量仪和家庭空气监测系统。MOX气体传感器采用MEMS技术，大大降低了成本。但是这些传感器也必须经过测试，这与典型半导体器件的和测试相比是一组独特的挑战。

3) 温度控制系统

系统采用镍铬加热板加热，通过调节加热电流的大小达到控温的目的。加热电源采用PID控制系统，可以使载荷室从室温快速加温到800℃，并且温度可调、控温。

4) 水冷循环系统

系统配有水冷循环系统用于系统整体的冷却，其中载荷室配置TC WS制冷循环水机，控温范围为10～27℃，给腔室、分子泵等稳定的制冷循环水，保证设备稳定运行。

(2) 上位机人机软件

为了方便高温微压力传感器的仪器校准试验，我们使用FameView组态软件编写了上位机人机软件。该软件主要用于实时监控载荷室和环境室的两线变送器的电源连接在变送器的输出端。两线变送器调制电源的电流从4?20mA，和输入端成比例。两线变送器的供电电源一般从24V~96V。大的电源可以使输出端的环路负载能力加大很多。环路电源隔离器的现场检测福禄克多功能校验仪787具有独特的电流模拟功能。当连接至外部电源时，可以让您在0?24mA之间地控制电流。现场检测环路电源隔离器时，两线环路变送器向隔离器的电流信号可以被移去，而福禄克多功能校验仪可以用模拟方式控制环路电流（)步连接福禄克多功能校验仪1、将变送器主环路断，把福禄克多功能校验仪的测试线插入模拟(Simulate)插口并接入环路。压力、温度状况，此外还具有数据存储功能。软件通过RS232协议与PLC进行通信，经由PLC控制高低温真空试验装置各个组件，实现了通过计算机远程控制的目的。

图5为该软件载荷室压力监控界面，当压力设定增大时，由于需要补气故响应速度较慢，相比之下，压力设定减小时响应迅速。

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“接地”这个名词相信大家都很熟悉，但是在日常测试和使用中并没有得到很多人的重视，就连有经验的技术工程师都会在这里犯错误，这里跟大家一起来深究一下。在大部分的测量测试系统中，接地的性质基本上可以分成四类：电气接地：原本是电路与大地之间的导电连接。在电子设备业中，这个词的意义已经放宽成用作零电压参考的一个点或几个点；电源地：仪器工作所需电源的电流的返回路径；信号地：所有信号电流的参考点和返回路径；屏蔽地：通常是仪器的金属外壳以及电缆的屏蔽。