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世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究

在航天领域，常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量，其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下，并且待测压力微小，此外还要求小型化、低功耗，故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。

常见的干节点信号有：各种关如：限位关、行程关、脚踏关、旋转关、温度关、液位关等；各种按键；各种传感器的输出，如：环境动力监控中的传感器：水浸传感器、火灾报传感器、玻璃破碎、振动、烟雾和凝结传感器；继电器、干簧管的输出。1.2湿节点（电压信号）湿接点（WetContact），相对于干接点而言，也被称之为湿触点，是一种有源关，具有有电和无电的2种状态，2个接点之间有极性，不能反接。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等，因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*，且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段，使其能够适应高温环境，即能*终满足测试的要求。

高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高温材料外壳和支撑架，部件连接采用固体焊接等耐高温工艺，实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量，并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施，提高了抗冲击、振动能力。
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当性轴受扭时，应变桥检测得到的mV级的应变信号通过仪表放大器AD620放大成1.5v±1v的强信号，再通过V/F转换器变换成频率信号，通过信号环形变压器T2从旋转的初级线圈传递至静止次级线圈，再经过外壳上的信号电路滤波、整形即可得到与性轴承受的扭矩成正比的频率信号，该信号为TTL电平，既可给 二次仪表或频率计显示也可直接送计算机。由于该旋转变压器动——静环之间只有零点几毫米的间隙，加之传感器轴上部分都密封在金属外壳之内，形成有效的屏蔽，因此具有很强的抗干扰能力。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境，我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统，通过高低温真空试验装置和人机软件的结合，为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。

1、传感器测量原理

(1) 微压力测量原理

高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理，根据Fabry-Perot共振效应，F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示，为传感器原理示意图，感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理，压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变，从而改变F-P腔腔长，引起干涉谱变化，通过测量干涉光谱，即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化，从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高，可感受两个镜面之间纳米级的位移变化，可满足500 Pa微小压力的测量需要。

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实际的电路设计中，由于晶体管的关以及实际互连线的特性等原因导致电源在一定范围内波动。当实际供电值高于波动上 ，就会引起芯片工作的可靠性问题；当实际供电值低于下 会导致芯片的工作性能降低甚至不能工作；当电压波动幅度较大时，可能会直接影响相关电路的信号质量。基于上述这些问题，随着单板高速高密度的发展，电源完整性已经成为制约设计的一个重要因素。在硬件设计和调测过程中，必须首先保证电源电路高质量工作。

(2) 传感器的仪器校准原理

在传感器探头确定的情况下，参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得，而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。

将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境，通过标准具得到压力、温度的标准量，通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线，再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线，用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系，从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较，可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。

仪器检验汕尾-认证公司在自动驾驶中，环境感知是一个非常重要的环节，它不仅可以帮助无人驾驶汽车进行，还可以告知障碍物等信息以帮助决策模块去调整驾驶行为。在视觉感知任务中，实际上有很多细分的任务类型，比如目标检测、目标跟踪、语义分割、实例分割、关键点检测等，而这些细分任务在我们的环境感知中都有着非常重要的应用。关键点检测技术简介在图像中，关键点本质上是一种特征。它是对一个固定区域或者空间物理关系的抽象描述，描述的是一定邻域范围内的组合或上下文关系。