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热工实验室江苏-认证中心热工实验室校准过程中，校准点数通常取6～11，校准循环次数通常取3～5，具体大小取决于被校传感器的精度和使用要求。

2、校准实验系统设计

仪器校准实验系统由高低温真空试验装置和上位机人机软件组成，其中使用压力薄膜规和镍铬热电偶分别作为压力、温度参量基准，使用解调模块读出被校传感器的输出，系统结构如图2所示。

第二步将多功能校验仪电流输出设为4mA,观察流量指示器来验证流量为值。进行流量的零点调整控制，直到正确的流量。从 /J、流量始，利用多功能校验仪细调功能慢慢增大至阀门的电流并注意在何时流量读数始增大。然后根据生产厂商的指标检查该错误范围。第三步使用按键,输出控制电流步进至2mA并注意流量读数。慢慢调整满度控制直至某一点，此时满度调整不再引起流量的增加。利用按键慢慢降至阀门器的电流并观察流量下降的个读数。

(1) 高低温真空实验装置

高低温真空实验装置是为了模拟传感器实际测量环境而专门设计的，可以实现压力、温度的复合加载，由腔体、压力控制系统、温度控制系统和水冷循环系统等部分组成。

1) 腔体结构

腔体是高低温试验装置的核心部分，通过隔板分为载荷室和环境室两个腔室。载荷室模拟传感器前端接触到的外界环境，如高温、近真空、微小压力，即壳体外表面环境;环境室模拟传感器后端的工作环境，也就是壳体内部的环境。腔室结构示意图如图3所示。

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的参考设计涵盖构建用于测量温度或皮电反应的生物传感器贴片所需的一切，包括使用NFC询问传感器的Android手机应用、以及一个用于配置和展示贴片的PCGUI。集成智能无源传感器ONSemiconductor采取了一种不同的方法，发出全集成式智能无源传感器，用于监测温度、湿度或压力。支持这些传感器的生态系统包括多合一发套件和具有自身内置GUI和IoT连接的便携式电池供电读取器。该读取器可从传感器标签采集数据。

为了实现对载荷室温度、压力的复合加载，在载荷室的四周放置镍铬加热板加热，并带有热屏蔽板，使用两根镍铬热电偶测量载荷室环境温度，作为参考温度基准。在室温～375℃的范围内，内，其测量精度为0.4%。通过压力控制系统调节载荷室内环境压力，使用MKS公司626系列压力薄膜规作为参考压力基准，其压力测量范围0.2～266 Pa,测量精度0.12%。

2) 压力控制系统

压力控制系统能够将载荷室和环境室抽至高真空状态，此外还可以调节载荷室内环境压力。它由机械泵、分子泵、限流阀、压控仪、气体流量计等部件组成。其中限流阀、压控仪用于腔室内压力的控制，气体流量计用于调节补气流量大小。

系统控制逻辑如图4所示。压控仪接收参数设置信号，与薄膜规测量信号进行比较，根据比较结果调节限流阀度的大小，经过不断地调节控制*终达到动态平衡，使得载荷室内气压等于设定压力值。此外，可以根据设定压力的大小调节补气阀度大小，例如若要达到一个较大的压力值，则可以适当增大补气流量，使得载荷室内气压更快地上升到设定压力。

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“触发”称得上数字示波器灵魂级的概念，如果没有合适的触发条件，波形观测也无从谈起。虽然很多工程师熟悉触发功能，但只知其表不知其里。如何深入理解触发呢？这篇ZDS示波器研发笔记在这里分享给大家。示波器在使用时首先要得到稳定触发的波形，这样才能保证后续的测量、解码等功能的可靠性。现在数字示波器的触发功能越来越强大，从常规触发，到协议触发，再到模板触发，越来越强大。但在基本的触发设置中，有些小细节的作用不可忽视，灵活掌握后，对使用示波器亦大有裨益。

3) 温度控制系统

系统采用镍铬加热板加热，通过调节加热电流的大小达到控温的目的。加热电源采用PID控制系统，可以使载荷室从室温快速加温到800℃，并且温度可调、控温。

4) 水冷循环系统

系统配有水冷循环系统用于系统整体的冷却，其中载荷室配置TC WS制冷循环水机，控温范围为10～27℃，给腔室、分子泵等稳定的制冷循环水，保证设备稳定运行。

(2) 上位机人机软件

为了方便高温微压力传感器的仪器校准试验，我们使用FameView组态软件编写了上位机人机软件。该软件主要用于实时监控载荷室和环境室的一直以来，设计中的电磁干扰（EMI）问题十分令人头疼，尤其是在汽车领域。为了尽可能的减小电磁干扰，设计人员通常会在设计原理图和绘制布局时，通过降低高di/dt的环路面积以及关转换速率来减小噪声源。有时无论布局和原理图的设计多么谨慎，仍然无法将传导EMI降低到所需的水平。这是因为噪声不仅取决于电路寄生参数，还与电流强度有关。另外，关打和关闭的动作会产生不连续的电流，这些不连续电流会在输入电容上产生电压纹波，从而增加EMI。压力、温度状况，此外还具有数据存储功能。软件通过RS232协议与PLC进行通信，经由PLC控制高低温真空试验装置各个组件，实现了通过计算机远程控制的目的。

图5为该软件载荷室压力监控界面，当压力设定增大时，由于需要补气故响应速度较慢，相比之下，压力设定减小时响应迅速。

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