测试仪器校验绍兴-验厂

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世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究

在航天领域，常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量，其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下，并且待测压力微小，此外还要求小型化、低功耗，故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。

斜率斜率即信号边沿时间，是波形中信号电平变换时所经历的时间，包括上升沿和下降沿。信号质量评估方法斜率评估评估CAN总线电平的信号质量，边沿时间的评估是不可或缺的，过于平缓的边沿会导致接收节点采样错误。如所示的波形，边沿明显过于平缓。信号边沿过于平缓现象斜率评估计算公式如下：由计算公式可知，当边沿过于平缓，即边沿时间占位时间的比例越大时，则评分越低；当边沿时间达到位时间的50%时，评分为0%，这时位信号已经严重畸变，影响节点对位电平的识别。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等，因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*，且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段，使其能够适应高温环境，即能*终满足测试的要求。

高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高温材料外壳和支撑架，部件连接采用固体焊接等耐高温工艺，实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量，并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施，提高了抗冲击、振动能力。
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定量指的是待分析物的含量质谱可以通过分子量信息定性。质谱信号强度与待分析物含量的关系任何定量分析方法都需要建立实验测量信号与待分析物的量的关系。很幸运的是，在质谱中，通常也可以建立这样的关系，因此质谱信号是可以用于定量的。既然问题是“质谱是怎样到定量的？”，我们不妨把质谱信号的产生按时间顺序粗略分为三个步骤，即离子的产生，传输与检测。产生离子时，不同样品分子的电离通常是相互独立的。因此样品量越多，其产生的离子也就越多。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境，我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统，通过高低温真空试验装置和人机软件的结合，为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。

1、传感器测量原理

(1) 微压力测量原理

高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理，根据Fabry-Perot共振效应，F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示，为传感器原理示意图，感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理，压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变，从而改变F-P腔腔长，引起干涉谱变化，通过测量干涉光谱，即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化，从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高，可感受两个镜面之间纳米级的位移变化，可满足500 Pa微小压力的测量需要。

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在很多情况下，引起密闭空间内危险气体存在的源头也许并不在密闭空间之内。比如，在很多炼油厂、化工厂中，设备中有（有气体报器）和（可燃气体报器）气体的释放是经常存在的，而由于气体的可流动性，一个区域的危险气体释放会很快扩散到其它区域，而在遇到密闭空间的结构时，这些气体就可能通过扩散、渗透、下沉等方式进入密闭空间，因此在决定密闭空间进入的有有害气体检测方法时，要充分考虑到所有可能的发生情况。

(2) 传感器的仪器校准原理

在传感器探头确定的情况下，参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得，而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。

将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境，通过标准具得到压力、温度的标准量，通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线，再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线，用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系，从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较，可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。

测试仪器校验绍兴-验厂 IoTCloudPlatform：无联网云DeviceSensors/Actuators：设备传感器/执行器NetworkGateway：网关Applications：应用各元素有其自身特定的硬件和软件要求：简化的物联网视图当今物联网的简化视图如所示。左边是物联网中 显而易见的“联接的”设备。