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世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究

在航天领域，常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量，其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下，并且待测压力微小，此外还要求小型化、低功耗，故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。

以太网是局域网(LAN)使用的一系列基于帧的计算机网络技术。通过在物理层和协议层分析以太网业务，可以了解嵌入式设计其它子系统的运行情况。一个差分以太网信号中包含着地址信息、控制信息、数据信息和时钟信息，很难隔离关心的事件。泰克MSO5示波器以太网串行触发和分析选项可以将部分转换成强大的工具，支持自动触发、解码和搜索，可以调试基于10base-T和100base-TX的系统。本指南深入阅读内容涵盖：1.以太网的物理层和包结构，旨在为帮助调试足够的细节2.怎样在配备以太网解码功能的示波器上设置解码3.怎样在配备以太网解码功能的示波器上理解串行总线数据4.演示以太网串行总线解码和触发功能设置10base-T以太网总线解码在泰克示波器上，按前面板上的总线按钮，可以把示波器输入定义为一条总线。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等，因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*，且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段，使其能够适应高温环境，即能*终满足测试的要求。

高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高温材料外壳和支撑架，部件连接采用固体焊接等耐高温工艺，实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量，并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施，提高了抗冲击、振动能力。
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推理机只负责诊断推理，测试则由测试系统完成。与传统的诊断和测试融合在一起不同，诊断模块（IEEE1232推理机）在不同测试系统间是可互换的。在故障树分析时，依照IEEE1232标准生成可的诊断信息文件，诊断知识将在不同测试系统间共享。通过严格按标准实施推理机的通信接口，就可以实现诊断模块的移植，达到测试与诊断的分离。参考IEEE1232标准,TestCenter发了故障诊断子系统，如所示，TestCenter故障诊断由三部分组成：诊断模型器、诊断推理机和诊断程序。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境，我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统，通过高低温真空试验装置和人机软件的结合，为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。

1、传感器测量原理

(1) 微压力测量原理

高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理，根据Fabry-Perot共振效应，F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示，为传感器原理示意图，感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理，压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变，从而改变F-P腔腔长，引起干涉谱变化，通过测量干涉光谱，即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化，从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高，可感受两个镜面之间纳米级的位移变化，可满足500 Pa微小压力的测量需要。

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当某一部分的可靠性指标无法满足时，可采用冗金设计方案来实现。国外孔板流量计不仅注重仪表本身的可靠性设计，并对使用可坏性也要加以设计考虑。一般电孔板流量计产品的可靠性属于指数分布，而机械件多的仪表其可靠性属于正态分布，实际计算起来并不很复杂。我国的孔板流量计设计应对此加以重视，这是产品质量的一个重要关键环节。注重维修性设计维修性不仅包括使用中产品的维修，还包括生产阶段孔板流量计的校准功能、调试功能和维修功能等技术指标，维修住必须在设计阶段加以保证。

(2) 传感器的仪器校准原理

在传感器探头确定的情况下，参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得，而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。

将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境，通过标准具得到压力、温度的标准量，通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线，再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线，用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系，从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较，可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。

仪器外校驻马店-认证公司而去耦电容可以弥补此不足。这也是为什么很多电路板在高频器件VCC管脚处放置小电容的原因之一(在Vcc引脚上通常并联一个去耦电容，这样交流分量就从这个电容接地。有源器件在关时产生的高频关噪声将沿着电源线传播。去耦电容的主要功能就是一个局部的直流电源给有源器件，以减少关噪声在板上的传播和将噪声引导到地。旁路电容和去耦电容的区别去耦：去除在器件切换时从高频器件进入到配电网络中的RF能量。