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世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究

在航天领域，常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量，其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下，并且待测压力微小，此外还要求小型化、低功耗，故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。

如果用户用IT64连接用电产品，使用电池模拟功能来模拟电池供电环境下的产品功耗，就可以将电池特性参数编辑为逐步下降的放电参数。IT64将根据表格参数自动拟合出一条平滑的放电曲线，减小用户编辑参数的工作量，提高能力。.CSV文件示意用户也可以利用IT64系列的电池放电功能，对设备原配电池进行放电测试，通过上位机软件采集到电池在放电中的电压、放电容量等参数，得到放电特性曲线。使用艾德克斯IT511内阻测试仪测得电池的内阻值，来获取IT64需要的电池模拟参数，以支持智能设备的研发测试。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等，因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*，且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段，使其能够适应高温环境，即能*终满足测试的要求。

高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高温材料外壳和支撑架，部件连接采用固体焊接等耐高温工艺，实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量，并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施，提高了抗冲击、振动能力。
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NCP175应用电路图率准谐振（QR）和高功率因数单级PFC反激电源也得到了快速发展，可能很快成为AC-DC电源主流，代表IC如安 在运算放大器、传感器、MCU和基准源等应用中，它们对电源的纹波噪声和电压精度要求比较高，那么Power1还需要经过线性电源转换到Power4线路中，才能给其系统供电。传统的线性电源一般采用NPN机构作为功率管，或者用 等，都是这种结构。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境，我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统，通过高低温真空试验装置和人机软件的结合，为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。

1、传感器测量原理

(1) 微压力测量原理

高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理，根据Fabry-Perot共振效应，F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示，为传感器原理示意图，感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理，压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变，从而改变F-P腔腔长，引起干涉谱变化，通过测量干涉光谱，即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化，从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高，可感受两个镜面之间纳米级的位移变化，可满足500 Pa微小压力的测量需要。

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红外测温仪由于其测温精度高，被广泛应用于耐火材料厂，其中关键的隧道窑里，里面测温点比较多。红外测温仪具有测温点多，连续工作时间长的特点，如温度参数控制不好，将会给生产企业带来重大的经济损失，选择合适的测温手段是保证窑炉正常工作的一个重要环节。隧道窑传统的测温方法有两种：一种是用热电偶测温，这种方法的特点是测温精度高，能连接 或控制系统进行闭环控制，其缺点是寿命短，特别是在1300℃以上的高温窑上其电耦消耗特大，价格也很贵，设备运行成本较高；第二种方法是光学高温计，该方法是根据被测物体发光的颜色来测量温度，因其不直接接触高温区，故使用寿命长，但测量精度较低，无号输出，不能自动记录，还有人为因素的影响，真实性差。

(2) 传感器的仪器校准原理

在传感器探头确定的情况下，参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得，而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。

将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境，通过标准具得到压力、温度的标准量，通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线，再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线，用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系，从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较，可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。

计量器具校准衢州-认证中心基于3672系列矢量网络分析仪的大功率输出（部分频段典型值+17dBm）和丰富的先进校准技术（包括源和接收机功率校准，SOLT，TRL，非插入校准和Ecal等）发的放大器增益压缩测量选件，所采用的二维扫描技术克服了传统测量方法只能点频测量的缺陷，极大地提高了测量效率，通过功率校准和误差修正，使测量结果更加准确。仅需一次设置，经过向导校准，连接被测件，就可以得到放大器在所有设置频点的增益压缩参数和线性参数。