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世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究

在航天领域，常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量，其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下，并且待测压力微小，此外还要求小型化、低功耗，故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。

新冠 持续蔓延，隔离发和潜伏期患者是遏制 重要的手段之一。然而，如何在机场、 、地铁、商场、学校等密集的公共场所，监控并识别可能的患者个体具有迫切需求。性传染的一个普遍特征是人体发热，适用于密集场所的红外体温检测设备需求大增。春节期间，北京市科委发布了测温方案征集通知，中科院半导体研究所迅速组织科研力量进行了相关的科研攻关，由研究员刘建国带领的智能光子研究团队经过近十天昼夜技术攻关，完成了台红外测温产品样机研制。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等，因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*，且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段，使其能够适应高温环境，即能*终满足测试的要求。

高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高温材料外壳和支撑架，部件连接采用固体焊接等耐高温工艺，实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量，并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施，提高了抗冲击、振动能力。
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涡轮叶片采用定向凝固合金和单晶合金材料，服役温度只能达到1℃，不能满足现代发动机的工作温度需要。人们发展了热障涂层（TBC）以保护金属基底，涂覆TBC的发动机涡轮叶片能在16℃的高温下运行，提高发动机6%以上的热效率，有效地增加推重比，这使得涂层结构逐渐应用在核反应堆、发动机等许多领域。涂覆TBC的涡轮叶片通常由基底、中间过渡层以及陶瓷层组成。复杂的结构和苛刻的极端高温工作环境使得TBC在使用过程中出现脱粘缺陷引起的失效问题。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境，我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统，通过高低温真空试验装置和人机软件的结合，为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。

1、传感器测量原理

(1) 微压力测量原理

高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理，根据Fabry-Perot共振效应，F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示，为传感器原理示意图，感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理，压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变，从而改变F-P腔腔长，引起干涉谱变化，通过测量干涉光谱，即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化，从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高，可感受两个镜面之间纳米级的位移变化，可满足500 Pa微小压力的测量需要。

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光伏组串的各逆变器都是大功率逆变器，通常是三相交流输出。LMG67功率分析仪在一个机框中可以放置高达7个功率模块，能够地分析和测量整个光伏网络中的相关参数，如电压、电流、功率。LMG6系列功率分析仪可以根据测试需求配置多通道进行测试。图二是双组串光伏逆变器并网图，LMG67可以配置为6个功率通道，每个功率通道包含1路电压输入，1路电流输入。典型的测试输入要求：直流电压范围6V-1V，现在还有15V交流电压范围23V-4V，取决于逆变器额定功率电流范围1A-1A，取决于逆变器额定功率带宽1KHz-1KHz，取决于逆变器的关频率精度：一般现场测试可使用B1模块，实验室率测试使用A1精度模块LMG6系列功率分析仪根据不同的测试需求可以配置不同精度及带宽范围的功率模块，是A1模块和B1模块的精度及带宽范围的说明。

(2) 传感器的仪器校准原理

在传感器探头确定的情况下，参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得，而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。

将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境，通过标准具得到压力、温度的标准量，通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线，再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线，用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系，从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较，可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。

仪器计量渭南-CNAS认证机构HIOKI冬季 新产品，热流数据采集仪LR8432。该款数采与以往的便携式数采有着相似的外观，但在功能上却有着与众不同的地方。“热流”测量功能，首先了解何为“热流。”热流：即“热流量”，是一定面积的物体两侧存在温差时，单位时间内由导热、对流、辐射方式通过该物体所传递的热量。通俗来讲，温度变化时，势必包含热能的。热能是温度变化所释放的能量，与水和电相同由高到低的转移。这种热能的程度即用“热流”来表示，单位时间单位面积流。