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世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究

在航天领域，常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量，其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下，并且待测压力微小，此外还要求小型化、低功耗，故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。

使用软件图形用户界面(GUI)的24GHz雷达IC软件支持，在DSP雷达支持功能库中，通过一些额外功能可利用原始数据，并使用为雷达传感器设计的 MATLAB工具（比如2D/3D雷达FFT、CFAR和分类算法）在PC上进行后。FMCW雷达系统基础知识所示为雷达发射时产生的调频连续波(FMCW)雷达波斜坡，以及用于定义雷达传感器设计信息的一组重要雷达公式。.FMCW雷达概念距离分辨率取决于发射载波扫描带宽——发射扫描带宽越高，雷达传感器的距离速度越高。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等，因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*，且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段，使其能够适应高温环境，即能*终满足测试的要求。

高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高温材料外壳和支撑架，部件连接采用固体焊接等耐高温工艺，实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量，并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施，提高了抗冲击、振动能力。
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目前常见的电机测试系统有两种：测功机系统；系统包括前段供电测试直流电源（电池模拟器），测功机，变频器，测试所需仪器仪表等。电机对拖测试系统；系统包括前段供电测试直流电源（电池模拟器），陪测电机电控，测试所需仪器仪表等。测试装置中电机控制器电源部分可采用双象限直流电源或直流电源加直流负载的形式。测电源部分的性能及可靠性直接决定了系统的实验能力,因此对电源有如下要求：一电源输出具有快速的动态响应特性（突加载，突减载，充放电转换等），艾德克斯IT6500系列电压上升时间高达3ms，可以满足各种工况要求。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境，我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统，通过高低温真空试验装置和人机软件的结合，为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。

1、传感器测量原理

(1) 微压力测量原理

高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理，根据Fabry-Perot共振效应，F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示，为传感器原理示意图，感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理，压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变，从而改变F-P腔腔长，引起干涉谱变化，通过测量干涉光谱，即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化，从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高，可感受两个镜面之间纳米级的位移变化，可满足500 Pa微小压力的测量需要。

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继电器广泛用于各个领域，如电动汽车、智能电表、电化学等，其性能和可靠性也影响设备系统稳定，继而继电器测试验证标准越来越严格，其测试设备综合要求更高。继电器是具有隔离功能的自动关元件，广泛应用于遥控、遥测、通讯、自动控制、机电一体化及电力电子设备中，是 重要的控制元件之一。对于功耗超过1W和工作频率小于1kHz的的高频继电器，在验证测试过程中，通常需求1k~1kHz交流电。以往高频交流电一般通过信号发生器与功率放大器组合输出，即信号发生器产生低能量的高频交流电，经过功率放大器增益放大，达到符合实际应用的高能量的高频交流电。

(2) 传感器的仪器校准原理

在传感器探头确定的情况下，参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得，而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。

将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境，通过标准具得到压力、温度的标准量，通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线，再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线，用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系，从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较，可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。

量具校验汕头-外校单位动的热能量表示为(单位：W/m2)。温度体现结果，热流体现过程。使用热电偶和温度记录法仅能测量温度，对于温度的变化过程(正在发热或正在吸热)却全然不知。使用“热流传感器”，将热能量的和量可视化，可作为温度变化的先行指标。测量热能，对于更高精度的空调控制或针对产品研发的热能策略具有重大意义。与传统的温度记录相比，除了了解温度的变化的情况之外，通过“热流”测量还能掌握引起温度变化的原因。所以，LR8432 适用于分析温度变化的原因，从而具化到评估隔热性能等实际生活，生产之中。