测试仪表校验绍兴-计量公司

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世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究

在航天领域，常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量，其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下，并且待测压力微小，此外还要求小型化、低功耗，故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。

此外，跟LiDAR系统不同，红外热成像传感器无惧浓雾或阳光直射。据报道，FLIR在今年年初发布了一款新型高分辨率热成像汽车发套件（ADK），这款ADK搭载了高分辨率FLIRBoson机芯，还配备了英特尔MovidiusMyriad2视觉单元，是FLIR目前一款在满足车规要求的紧凑型坚固封装中，匹配低功耗多核视觉器的红外热像仪模组。这类热敏传感器已经在多个领域获得广泛应用：热追踪、电路问题探测、火灾现场的人员位置确定等。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等，因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*，且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段，使其能够适应高温环境，即能*终满足测试的要求。

高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高温材料外壳和支撑架，部件连接采用固体焊接等耐高温工艺，实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量，并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施，提高了抗冲击、振动能力。
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但在不当的应用中会导致电网的波形产生严重畸型，严重影响电网运行的质量。下面来看看电磁参量测量与分析仪表领域的主要技术分析。1)多功能：在数字采样技术、嵌入式微器、大规模集成电路和传感器发展的带动下，电磁测量分析仪表正向着一机多用发展，嵌入式操作系统、多参数(包括可以转换为电量的非电量)测量、瞬间信号动态捕捉与实时监测、数据记录与存储等功能成为主要趋势。2)系统化：无线、红外、US485等接口技术的引入，使电磁测量分析仪表可以随时随地接入计算机、总线、互联网等各类系统，而作为系统终端进行电量或非电量的采样、测量、传输、分析、、存储与显示等。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境，我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统，通过高低温真空试验装置和人机软件的结合，为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。

1、传感器测量原理

(1) 微压力测量原理

高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理，根据Fabry-Perot共振效应，F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示，为传感器原理示意图，感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理，压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变，从而改变F-P腔腔长，引起干涉谱变化，通过测量干涉光谱，即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化，从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高，可感受两个镜面之间纳米级的位移变化，可满足500 Pa微小压力的测量需要。

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所以选择示波器和探头带宽时至少要选择被测量方波信号的5次谐波频率以上的带宽。探头的选择示波器是无法直接对信号进行测量的，必须通过一个物理连接将信号传输到示波器内。这种物理连接就是探头。探头对高速信号测量来说至关重要。普通无源探头一般有1：1探头和10：1探头两种。这两种探头除了衰减比例不同外，还会对高速信号产生很大的差异。想要解释这个问题，需要现讨论一下探头的一个关键特性——负载效应。理想情况下，我们希望我们的测量设备的阻抗无穷大，这样测试设备的接入就不会对被测系统产生任何影响，从而保证测量的真实性。

(2) 传感器的仪器校准原理

在传感器探头确定的情况下，参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得，而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。

将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境，通过标准具得到压力、温度的标准量，通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线，再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线，用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系，从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较，可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。

测试仪表校验绍兴-计量公司正确选用功率继电器的四个步骤测触点电阻用表的电阻档，测量常闭触点与动点电阻，其阻值应为0，(用更加方式可测得触点阻值在100毫欧以内);而常触点与动点的阻值就为无穷大。由此可以区别出那个是常闭触点，那个是常触点。测线圈电阻可用表R×10Ω档测量功率继电器线圈的阻值，从而判断该线圈是否存在着路现象。测量吸合电压和吸合电流找来可调稳压电源和电流表，给功率继电器输入一组电压，且在供电回路中串入电流表进行监测。