仪器计量淮安-检测公司

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世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究

在航天领域，常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量，其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下，并且待测压力微小，此外还要求小型化、低功耗，故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。

保证测量度流量测量度指的是流量测量系统所获得的度，它同流量计本身的度是有区别。仅仅流量计本身性能好，度高，并不一定能获得较高的测量度。要保证流量测量系统的度，除了合理的选型，正确与调试，及时的维护和保养之外，应用智能化技术对测量部分可能引入的误差进行恰到好处的补偿和校正也是一项有效的方法。对液体的温度膨胀系数进行补偿，不锈钢压力表对气体的温度、压力和压缩系数进行补偿，对差压式流量计的雷诺数影响和流束膨胀系数进行补偿，对各种流量计流量系数的非线性进行补偿，对容积式流量计、涡街流量计的温度影响进行补偿，对超声流量计的速度分布进行补偿等。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等，因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*，且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段，使其能够适应高温环境，即能*终满足测试的要求。

高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高温材料外壳和支撑架，部件连接采用固体焊接等耐高温工艺，实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量，并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施，提高了抗冲击、振动能力。
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数字示波器的一个捕获周期连续多个捕获周期内，死区时间越长，相对的有效捕获时间就越短，一旦示波器的波形捕获率过低，这样就有可能导致异常信号出现在死区时间内而被漏掉。由此可见示波器的波形捕获率对于能否捕捉低概率的异常信号是很关键的，信号里面随机的异常信号及偶发信号往往是无法被预测的，波形捕获率越高，越有利于捕获低概率的信号!那么，我们如何验证那些示波器厂家所标称的几十万甚至上百万的波形捕获率的真呢?测量示波器的波形捕获率并不难，大多数示波器都会一个触发输出信号，通常用于使其他仪器与示波器的触发同步，我们可以通过频率计以及其他示波器来测量这个触发信号的平均频率，进而测量出待测示波器的波形捕获率。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境，我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统，通过高低温真空试验装置和人机软件的结合，为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。

1、传感器测量原理

(1) 微压力测量原理

高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理，根据Fabry-Perot共振效应，F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示，为传感器原理示意图，感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理，压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变，从而改变F-P腔腔长，引起干涉谱变化，通过测量干涉光谱，即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化，从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高，可感受两个镜面之间纳米级的位移变化，可满足500 Pa微小压力的测量需要。

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国外专注于工业机器人研发与生产的公司主要有瑞典的ABB工业机器人公司，德国的KUKA公司与日本的FANUC公司等。这些公司机器人产品的关节驱动传动机构其内部RV减速器主要用的是日本帝人生产的RV减速器。因为工业机器人驱动机构要求其传动过程中精度高且回程间隙小即回差小，刚度较大和输出转矩高，减速比大，常用的传动装置有：RV减速器，谐波减速器，摆线针轮行星减速器和某些精度高的行星减速器与其它的小侧隙精密控制减速器。

(2) 传感器的仪器校准原理

在传感器探头确定的情况下，参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得，而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。

将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境，通过标准具得到压力、温度的标准量，通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线，再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线，用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系，从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较，可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。

仪器计量淮安-检测公司我国有大面积国土处于地震频发的地震带上，加强地震防范十分必要。如果在地震来临前的数秒或数十秒，家用电表能发出频率不同的尖锐报，提示民众迅速应对——这短暂的时间，将成为减少地震伤亡的黄金窗口。电科院在临沂特高压站试点应用了地震监测系统。图为于主变压器设备的地震监测站点对此，我国研发实施了变电站地震在线监测系统，致力于在电网系统展地震预，并探索向关键电力设施地震预信号的同时，也可向电力用户地震预服务。