热工实验室连云港-审厂

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世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究

在航天领域，常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量，其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下，并且待测压力微小，此外还要求小型化、低功耗，故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。

一般说来，各组热丝之间阻值的差值不应超过0.2~0.5Ω，如超出此值，应按。双路流量相差太大或气路泄漏的：两路流量相差过大可通过调节气路控制阀加以解决，但此时两气路不应有泄漏。调零电路有路。记录器路或无反应。基线噪声与漂移造成热导检测器基线不稳定的原因很多，大约有几十种，常见的有：电源电压太低或波动太大、同一相上的电源负载变动太大；气路出口管道中有冷凝物或异物；仪器接地 ；柱室温控不稳、检测室温控有波动或漂移；载气不干净、气路被污染、载气气路中漏气、载气压力过低或快用完；稳定阀、稳流阀控制精度差；双柱气路相差太大，补偿 ；载气出口有风或出口处皂膜流量计中有皂液；柱填充物松动；机械振动过大；桥路直流稳压电源不稳；(12)柱中固定相流失；色谱仪基线不稳时，首先检查色谱仪气路是否存在污染现象，在气路中不干净的条件下，许多本来在气路干净时对基线稳定性影响很小的因素(如气流流量变化、控温波动等)对基线的稳定性影响却会突然增大。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等，因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*，且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段，使其能够适应高温环境，即能*终满足测试的要求。

高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高温材料外壳和支撑架，部件连接采用固体焊接等耐高温工艺，实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量，并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施，提高了抗冲击、振动能力。
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而如果说在34G时代，更多是跟随标准，我们能明显看到5G时代不仅在积极参与有时甚至处于领导地位。”.NI 5G进程表Luke坦言，已成为5G “战场”的重要一环，一方面，基于从5G原型部署到测试的NI化解决方案积极协助研发力量抢占5G商用先机;另一方面，融合 经验助力5G商用化加速，Luke认为NI的5G战略已经非常明晰。作为IoT万物互联的关键，5G正在结成一张巨大的通信需求网，融入各行各业。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境，我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统，通过高低温真空试验装置和人机软件的结合，为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。

1、传感器测量原理

(1) 微压力测量原理

高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理，根据Fabry-Perot共振效应，F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示，为传感器原理示意图，感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理，压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变，从而改变F-P腔腔长，引起干涉谱变化，通过测量干涉光谱，即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化，从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高，可感受两个镜面之间纳米级的位移变化，可满足500 Pa微小压力的测量需要。

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智能电网已成为了我国智慧城市发展的重要基础和驱动力。智能电网是以稳定的的电网框架为基础，通过通信网络技术和计算机信息技术，对电力系统的发电、输电、变电、配电、用电和调度等方面进行智能监控，以实现电力、信息、业务的高度融合。智能电网不仅仅意味智能化控制，也包括对电网运行信息智能化和管理。只有真正到了信息智能管理，智能化控制才可实现。在智能电网的建设运行过程中，所表现出的可观测、可控制、自适应以及自愈性等特性，都离不信息及通信技术所的支持与保障。

(2) 传感器的仪器校准原理

在传感器探头确定的情况下，参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得，而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。

将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境，通过标准具得到压力、温度的标准量，通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线，再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线，用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系，从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较，可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。

热工实验室连云港-审厂 填埋场产生的 被抽取用于发电和住宅供电。 是填埋场内部形成的压力所产生，是一种无臭无味、对环境有害的气体。此外，填埋场还释放 （H2S），这种恶臭气体有时会影响周边的居民区。检测气体泄漏为了检测相关的泄漏气体，Lindum决一台FLIR相关红外热像仪，该红外热像仪可以追踪包括 在内的约2种挥发性有机化合气体并使之可视化。填埋场占地将近1公顷，每周两次在黎明时分进行1小时检测。FLIR红外热像仪可立刻发现气体泄漏，并让其以黑色或白色烟雾形式在图像中可见，然后填埋场的工人用黏土覆盖泄漏点，用铁块中和硫化物的气味。