测试仪表校正莆田-检测公司

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世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究

在航天领域，常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量，其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下，并且待测压力微小，此外还要求小型化、低功耗，故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。

关电源中电容的选型要了解电容本身特性在关电源设计中，使用频率的电容是陶瓷电容、电解电容、钽电容，需要了解它们的特性差异才能快速的进行选择。陶瓷电容容值较小，高频特性好，工作温度范围较广，ESR较电解电容小，体积小，没有极性；电解电容容值可以大，但工作温度范围较窄，ESR较大，有极性；钽电容ESR，容值可比陶瓷电容大一些，有极性，安规性能差，容易起火。了解了以上三种电容的特性，在使用它们的时候就可以游刃有余。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等，因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*，且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段，使其能够适应高温环境，即能*终满足测试的要求。

高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高温材料外壳和支撑架，部件连接采用固体焊接等耐高温工艺，实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量，并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施，提高了抗冲击、振动能力。
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相较于国内其他一线城市，深圳的空气质量令人艳羡。除了污染企业少、绿化程度高以外，靠海的地理优势也是很重要的因素。即便如此，根据《深圳 2年，空气质量优良天数比例达到98%，PM2.5年均浓度控制在25微克/立方米以内，达到世卫组织空气质量准则的第二阶段目标值，深圳的PM2.5还需下降2微克/立方米。为此，深圳市制定了8大领域的23项重点措施，其中很重要的一项就有柴油机的DPF。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境，我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统，通过高低温真空试验装置和人机软件的结合，为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。

1、传感器测量原理

(1) 微压力测量原理

高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理，根据Fabry-Perot共振效应，F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示，为传感器原理示意图，感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理，压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变，从而改变F-P腔腔长，引起干涉谱变化，通过测量干涉光谱，即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化，从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高，可感受两个镜面之间纳米级的位移变化，可满足500 Pa微小压力的测量需要。

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从发展趋势来看，红外热像检测技术将会成为器无损检测的常规检测手段；从维修工作的实际效果来看，采用红外热像技术检测复合材料蜂窝内部积水的方法效率高、结果准确。原理及概况物理原理温度在零度以上的物体均能产生电磁波，电磁波波长范围与物体的温度相对应。如图1所示为不同温度下黑体的光谱辐射量，图中波长与辐射量是与温度相关的函数关系。热辐射与其它形式的电磁波一样，在物体表面时会发生反射、透射和吸收。图1不同温度下黑体的光谱辐射量检测原理材料或结构中的缺陷，如复合材料或其结构件中的分层、脱粘、裂纹等，其导热特性与材料本身存在明显差异。

(2) 传感器的仪器校准原理

在传感器探头确定的情况下，参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得，而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。

将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境，通过标准具得到压力、温度的标准量，通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线，再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线，用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系，从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较，可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。

测试仪表校正莆田-检测公司源测量单元(SMU)是一种可以电流或电压，并测量电流和电压的仪器。SMU用来对各种器件和材料进行I-V表征，是为测量非常灵敏的弱电流，同时或扫描DC电压而设计的。在拥有长电缆或其他高电容测试连接的测试系统中，某些SMU可能不能在输出上容忍这样的电容，从而产生有噪声的读数和/或振荡。泰克日前为Keithley4200A-SCS参数分析仪推出两款源测量单元(SMU)模块。4201-SMU中等功率SMU和4211-SMU高功率SMU(选配4200-PA前置放大器)可以进行稳定的弱电流测量，包括在高测试连接电容的应用中也非常稳定，使用非常长的三芯同轴电缆来连接器件的应用。