量器具校验黄山-CNAS检测机构

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世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究

在航天领域，常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量，其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下，并且待测压力微小，此外还要求小型化、低功耗，故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。

为了保证您现在和将来都能选购到满足自己使用需求的高质量红外热像仪，FLIR列出了选购研发用红外热像仪的七大须知。它能引导您明确项目需求，帮助您选择特定应用的热像仪。基于7点建议的讨论通过指导您创建需求文件，帮助您缩小红外热像仪的选择范围，为您的 终选购指明方向。第1点：您要测量什么温度？红外热像仪的常见应用就是测量所研究物体的温度变化。测量温度时需考虑的两点是：所测物体的温度范围和希望获得的温度分辨率。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等，因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*，且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段，使其能够适应高温环境，即能*终满足测试的要求。

高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高温材料外壳和支撑架，部件连接采用固体焊接等耐高温工艺，实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量，并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施，提高了抗冲击、振动能力。
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以一些新型的或者过的传感器应用于智能小家电为例说明如下：传感器与非接触式温度分散识别相结合可用于自动烘烤控制，用于护发装置的远距离非接触式温度、湿度、发色检测。智能医学传感器用于防护设备。设备中应用的紫外传感器作为防止对紫外线感光过敏的保护。智能鞋能利用加速度传感器测量脚步的运动情况，还能计算跑步运动员和竞走运动员运动的距离。距离传感器和压力传感器用于剃须使用中调整片。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境，我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统，通过高低温真空试验装置和人机软件的结合，为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。

1、传感器测量原理

(1) 微压力测量原理

高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理，根据Fabry-Perot共振效应，F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示，为传感器原理示意图，感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理，压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变，从而改变F-P腔腔长，引起干涉谱变化，通过测量干涉光谱，即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化，从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高，可感受两个镜面之间纳米级的位移变化，可满足500 Pa微小压力的测量需要。

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对有源天线阵列进行校准需要很长的生产测试时间。大型阵列可能包含成百上千个阵元，有必要通过表征这些阵元间的相位和增益关系，以确保精密的波束赋形。而且，进行阵元调整所需的测试时间会随着阵元数量的增加而大幅增长。使用多个相参测量通道能够有效地缩短测试时间。现在通常使用一台多端口网络分析仪在天线上执行相对增益和相位测量，一般是通过关矩阵对所有的天线端口或通道执行这种测量。这会产生很长的测试时间，尤其是对包含成百上千阵元的阵列。

(2) 传感器的仪器校准原理

在传感器探头确定的情况下，参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得，而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。

将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境，通过标准具得到压力、温度的标准量，通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线，再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线，用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系，从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较，可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。

量器具校验黄山-CNAS检测机构特别是气体容量法测碳、碘量法定硫，既快速又准确，是我国碳、硫联合测定 常用的方法，采用此方法的碳硫分析仪的精度，碳含量下限为.5%，硫含量下限为.5%，可满足大多数场合的需要。重量法：常用碱石棉吸收二氧化碳，由“增量”求出碳含量。硫的测定常用湿法，试样用酸氧化，转变为硫酸盐，然后在 介质中加入 ，生成硫酸钡，经沉淀、过滤、洗涤、灼烧，称量 计算得出硫的含量。重量法的缺点是分析速度慢，所以不可能用于企业现场碳硫分析，优点是具有较高的准确度，至今仍被作为标准方法，适用于标准实验室和研究机构。