热工实验室淮北-校准单位

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世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究

在航天领域，常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量，其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下，并且待测压力微小，此外还要求小型化、低功耗，故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。

也因为理想的元器件与现实情况的差异，导致我们在测量时就得特别注意，也必须特别考虑测量方法和选择测试条件。再来是电感器的频率响应特性。个是关于普通电感，由于来自线缆电阻和寄生电容的影响，也会使得实际的阻抗值和理想值间有所偏差，特别是在高频的时候。另外，高磁芯损耗的电感则是由于寄生电容和磁芯损耗的影响，同样会产生与理论值间的偏差。 是关于电容器频率响应的特性，是因为等效串联电阻的影响，使得实际测量结果与理论值有所偏差。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等，因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*，且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段，使其能够适应高温环境，即能*终满足测试的要求。

高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高温材料外壳和支撑架，部件连接采用固体焊接等耐高温工艺，实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量，并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施，提高了抗冲击、振动能力。
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IT76电压可达3V/6V/12V，频率范围1-5Hz。测试时，可步进增大或减小电压或者频率，此时观察DC输出端电压是否跌落至保护。电压短时中断测试，输入电压或频率的瞬变GJB181A-23中针对这一项内容主要是针对交流用电设备在交流电出现瞬间跌落或异常波动的情况下的运行特性。IT76系列具备交流电压与直流偏移电压的功能，可以模拟任意波形输出，同时也可以IEC61-4-11标准针对电压突降，短路中断和电压变化规定项目测试。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境，我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统，通过高低温真空试验装置和人机软件的结合，为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。

1、传感器测量原理

(1) 微压力测量原理

高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理，根据Fabry-Perot共振效应，F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示，为传感器原理示意图，感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理，压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变，从而改变F-P腔腔长，引起干涉谱变化，通过测量干涉光谱，即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化，从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高，可感受两个镜面之间纳米级的位移变化，可满足500 Pa微小压力的测量需要。

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在近场区查找辐射源可以直接发现干扰源。在近场区查找辐射源的工具有近场探头和电流卡钳。检查电缆上的发射源要使用电流卡钳，检查机箱缝隙的泄漏要使用近场探头。电流卡钳与近场探头电流探头是利用变压器原理的能够检测导线上电流的传感器。当电流探头卡在被测导线上时，导线相当于变压器的初级，探头中的线圈相当于变压器的次级。导线上的信号电流在电流探头的线圈上感应出电流，在仪器的输入端产生电压。于是频谱分析仪的屏幕上就可以看到干扰信号的频谱。

(2) 传感器的仪器校准原理

在传感器探头确定的情况下，参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得，而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。

将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境，通过标准具得到压力、温度的标准量，通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线，再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线，用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系，从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较，可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。

热工实验室淮北-校准单位三基色原理白光是多种光的混合，所以当三基色系数时为白色，零时为黑色，而介于两者间的就是世间百色了。每个像素点就像一个颜料盒，盒子越大，装的色彩种类越多，则这个像素点能表达的色彩越丰富，而这个盒子的大小在电脑里叫存储空间，调色的方式则是改变三原色含量，下面的表越往下，所需要的存储空间越大，但每个像素点能描述的颜色越准确，屏幕的画面也就越逼真。