测试仪器计量马鞍山-校验公司

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世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究

在航天领域，常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量，其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下，并且待测压力微小，此外还要求小型化、低功耗，故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。

曾经的一代枭雄 早的模拟示波器出现于20世纪初期，大概只有几MHz的带宽。也就是我们早些年见到的那种CRT显示屏的示波器。原理比较简单，在高中物理中已经有讲过：模拟示波器内部会产生周期性的锯齿波信号来控制银光平电子的水平偏转，被测的电压经过放大后控制荧光屏电子的垂直偏转。这样一来，光斑或者亮线就清楚的显示在荧光屏上了，就是波形嘛。一度被推上神坛在数字示波器刚刚推出的时候，很多工程师对其是不信任的，他们觉得模拟示波器才是实时示波器，而数字示波器不是实时的。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等，因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*，且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段，使其能够适应高温环境，即能*终满足测试的要求。

高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高温材料外壳和支撑架，部件连接采用固体焊接等耐高温工艺，实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量，并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施，提高了抗冲击、振动能力。
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总体来说，我们 近在这个领域上没有接触更多的需求。虽然许多客户希望设备尽可能的小，但是他们 关心的还是性能和价格，尺寸往往在优先级列表中比较低。我们看到这三个方面是大型关组中的一个问题，在大型关的作用下人们想要分组切换更大数量的线缆，举例：一个1*16的关一次切换250个线缆，在 终用户想要交叉连接数百个输入和数百个输出时使用的高密度通信矩阵，以及大电流关。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境，我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统，通过高低温真空试验装置和人机软件的结合，为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。

1、传感器测量原理

(1) 微压力测量原理

高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理，根据Fabry-Perot共振效应，F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示，为传感器原理示意图，感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理，压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变，从而改变F-P腔腔长，引起干涉谱变化，通过测量干涉光谱，即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化，从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高，可感受两个镜面之间纳米级的位移变化，可满足500 Pa微小压力的测量需要。

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此项接法的目的是让电子负载sense端采样的电压是电池两端的电压，从而使电子负载面板显示的电压为真实的电池两端的电压，因此“辅助电源”的辅助电压可以忽略不计。注意事项由于“辅助电源”自身的电流噪声会叠加到测试产品上，所以我们需要尽量选择低噪声的“辅助电源”。电子负载必须选择额定功率大于测试产品的功率和“辅助电源”的功率之和。：测试产品的功率为100W，我们选择电子负载的额定功率为100W是不够的，设“辅助电源”的功率是50W，我们选择电子负载时额定功率需要选择为150W以上。

(2) 传感器的仪器校准原理

在传感器探头确定的情况下，参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得，而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。

将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境，通过标准具得到压力、温度的标准量，通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线，再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线，用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系，从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较，可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。

测试仪器计量马鞍山-校验公司机动车对环境的电磁干扰已被视作与噪声、排放同等重要的公害，涉及到环境保护、人身健康、行驶安全等。机动车整车及零部件工作环境通常很恶劣，始终处于一个充满电磁相互干扰的环境，为了避免互相干扰，车辆必须具有优良的电磁兼容性能，同时也必须一个具有能够模拟并复现车辆电磁兼容性环境的测试实验室，来验证车辆的电磁兼容性能。机动车电磁兼容性测试技术随着电子技术和信息技术的发展，电磁兼容试验从 初的室外良好的电磁环境下的试验，一直发展到室内全天候 机动车电磁兼容实验室。