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世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究

在航天领域，常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量，其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下，并且待测压力微小，此外还要求小型化、低功耗，故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。

ADC模块是一个12位、具有线结构的模数转换器，用于控制回路中的数 2ADC精度的方法，使得ADC精度得到有效提高。1ADC模块误差的定义及影响分析1.1误差定义常用的A/D转换器主要存在：失调误差、增益误差和线性误差。这里主要讨论失调误差和增益误差。理想情况下，ADC模块转换方程为y=x×mi，式中x=输入计数值=输入电压×4095/3;y=输出计数值。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等，因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*，且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段，使其能够适应高温环境，即能*终满足测试的要求。

高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高温材料外壳和支撑架，部件连接采用固体焊接等耐高温工艺，实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量，并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施，提高了抗冲击、振动能力。
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此外，当前的纯电动新能源汽车，除了采用单一驱动电机方案外，还存在如双电机四驱、轮毂电机驱动、轮边电机驱动等多轴驱动方案，都是未来的发展方向。新能源电机恒功率范围、启动扭矩、调速能力、功率密度、效率、可靠性等特性关注度越来越高，也是评价新能源电机优劣的重要指标。现阶段，新能源汽车、特别是乘用车电机趋向于高转速、率、高稳定性的方向发展。为什么新能源汽车，特别是乘用车的转速要高？近年来，主要汽车企业加大了新能源汽车车型上市步伐，纷纷推出了较成熟的新能源乘用车产品，可供消费者选择的车型日益增多，市场竞争也日趋激烈，加快了新能源电机技术的改良，其中有一个方向就是转速越来越高，对新能源乘用车来说，高转速有两大优点：一是对于新能源电机来说，转速高，功率密度高，体积远小普通电机适于新能源汽车的应用；二是转动惯量小、动态响应快、峰值转速性能好。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境，我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统，通过高低温真空试验装置和人机软件的结合，为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。

1、传感器测量原理

(1) 微压力测量原理

高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理，根据Fabry-Perot共振效应，F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示，为传感器原理示意图，感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理，压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变，从而改变F-P腔腔长，引起干涉谱变化，通过测量干涉光谱，即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化，从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高，可感受两个镜面之间纳米级的位移变化，可满足500 Pa微小压力的测量需要。

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空气环境检测当然也离不气体传感器，比如空气质量监测（应用与空调、新风系统、智能家居、空气净化器等），应用传感器检测空气质量、温湿度、氮的氧化物、硫的氧化物、 等引起酸雨的气体；检测二氧化碳、 、一氧化二氮、臭氧、氟里昂等温室效应气体；检测臭氧、氟里昂等破坏臭氧层的气体；检测 、 和气体难闻气体等。总而言之，气体传感器在市场上占有很大的的比重，根据其不同的功能在民用、工业、环境检测都有很大的作用。

(2) 传感器的仪器校准原理

在传感器探头确定的情况下，参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得，而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。

将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境，通过标准具得到压力、温度的标准量，通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线，再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线，用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系，从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较，可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。

测试仪器计量贺州-CNAS检测公司夏日炎炎，虽不用锅炉供暖，但是无锡某工厂需要直燃型溴化锂吸收式制冷机维持车间凉爽的温度。直燃型双效溴化锂吸收式冷热水机组以燃气、燃油为能源，通过其直接燃烧产生高温烟气作为加热源，利用吸收式制冷循环的原理。冷、热水，供夏季制冷，冬季采暖之用。烟气是重要的加热源，技术部王工需要定期的检测烟气温度和燃烧效率，并根据这些数据调节燃烧器，设备间的动辄就是4℃以上的高温，燃烧器旁边的温度有时甚至超过5℃，夏天太热了，让他有些难熬。