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世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究

在航天领域，常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量，其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下，并且待测压力微小，此外还要求小型化、低功耗，故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。

事实确实如此，因为数字示波器要先把一段数据采集到高速缓存里面，然后再停止采集，再由后面的器把缓存里的数据取出来再进行内插、分析、测量、显示。特别是在21世纪之前，这个数据的时间要远远长于示波器采集波形的时间，也就是说绝大多数的波形都被漏掉了（英文文献称“deadtime”，也即死区时间）。而模拟示波器在带宽足够的情况下，可以实时显示电压的变化情况，这在示波器发展过程中起着至关重要的作用。硬伤注定将被时代抛弃模拟示波器的优点毋庸赘述，实时性好、原理简单、价格便宜。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等，因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*，且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段，使其能够适应高温环境，即能*终满足测试的要求。

高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高温材料外壳和支撑架，部件连接采用固体焊接等耐高温工艺，实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量，并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施，提高了抗冲击、振动能力。
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我们身处的时代崇尚“越大越好”,但这一至理名言也许并不适用于FIR滤波器长度。DSP支持的滤波器长度通常为1024点（tabs），有些高达4096点。为什么人们不想要或不需要长度更长的FIR滤波器？如果生厂商在DSP中引入8192点的FIR滤波器，人们会舍弃竞争产品而选择它吗？频率越低，时间越长首先，我们需要一份用于练习和实验的文件。可使用扬声器的测量数据，但稍微简单的文件更易于帮助我们发现重要的点。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境，我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统，通过高低温真空试验装置和人机软件的结合，为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。

1、传感器测量原理

(1) 微压力测量原理

高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理，根据Fabry-Perot共振效应，F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示，为传感器原理示意图，感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理，压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变，从而改变F-P腔腔长，引起干涉谱变化，通过测量干涉光谱，即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化，从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高，可感受两个镜面之间纳米级的位移变化，可满足500 Pa微小压力的测量需要。

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安全气囊系统（SRS）是汽车上的一种安全防护装置，为降低人身伤亡率发挥着至关重要的作用，其性能测试也是现代汽车安全评价的重要组成部分。为确保其可靠性，均有非常严谨的检测规范。目前，通用的安全气 道路车辆安全气囊部件第2部分：气囊模块试验》和 标准GB/T19949.2-2005《道路车辆安全气囊部件第2部分：安全气囊模块试验》。

(2) 传感器的仪器校准原理

在传感器探头确定的情况下，参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得，而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。

将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境，通过标准具得到压力、温度的标准量，通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线，再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线，用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系，从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较，可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。

测试仪器外校连云港-认证公司为什么这么说呢？我们来看一个设计示例：0-1012V标称值、5mΩ的感测电阻。： 明显的 电流检测方案使用差分放大器。这种方案甚至都不需考虑使用分立电阻，除非它们是精密匹配网络的一部分（当然也就不是真正分立的）。对于1V的电源电压偏移和80dB的差分放大器CMRR（这意味着约0.01％的电阻匹配），你会看到相当于20mA的电流漂移（1V变化、80dB的CMRR导致输入0.1mV偏移，再除以5mΩ检测电阻的5mV/A标定）。