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世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究

在航天领域，常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量，其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下，并且待测压力微小，此外还要求小型化、低功耗，故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。

电容种类繁杂，但无论再怎么分类，其基本原理都是利用电容对交变信号呈低阻状态。交变电流的频率f越高，电容的阻抗就越低。旁路电容起的主要作用是给交流信号低阻抗的通路;去耦电容的主要功能是一个局部的直流电源给有源器件，以减少关噪声在板上的传播和将噪声引导到地，加入去耦电容后电压的纹波干扰会明显减小;滤波电容常用于滤波电路中。对于理想的电容器来说，不考虑寄生电感和电阻的影响，那么在电容设计上就没有任何顾虑，电容的值越大越好。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等，因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*，且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段，使其能够适应高温环境，即能*终满足测试的要求。

高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高温材料外壳和支撑架，部件连接采用固体焊接等耐高温工艺，实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量，并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施，提高了抗冲击、振动能力。
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渐渐平复，这两天，各城市迎来了复工潮。浙江东阳请车全程护送贵州回浙人员复工、义乌包专列接员工返城、嘉善包专机运送1位返岗员工、广州东莞包车从云南昭通接员工复工，佛山市长公承诺绝不因企业因无 而不能复产问……这一波波的硬核抢人操作，是在夺回1个月失去的GDP–在 可控下，抢人抢资源，早跑一步，经济早复苏。但 仍有，如何使之前的“封闭式管控”转变至利于经济发展的“精密型智控”？近日，卫健委介绍说，使用“红外热成像体温仪能够实现较远距离、非接触的情况下多目标同时进行体温检测，可以减少人员接触，相对安全便捷……”。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境，我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统，通过高低温真空试验装置和人机软件的结合，为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。

1、传感器测量原理

(1) 微压力测量原理

高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理，根据Fabry-Perot共振效应，F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示，为传感器原理示意图，感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理，压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变，从而改变F-P腔腔长，引起干涉谱变化，通过测量干涉光谱，即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化，从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高，可感受两个镜面之间纳米级的位移变化，可满足500 Pa微小压力的测量需要。

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尽量扩大测量动态范围1)通过计算平均值提高测量分辨率2)利用高分辨率采集提高测量分辨率3)使用交流耦合去除直流偏置4)使用示波器和探头限制带宽选择优化信号完整性的探测方法5)使用差分探头进行安全且的浮置测量6)不要选择耦合辐射功率的探测附件7)选择避示波器 灵敏设置的探头秘诀一:通过计算平均值提高测量分辨率在某些功率测量应用中，您需要测量大动态范围的值，同时还需要精细的分辨率，以测量参数的微小变化。

(2) 传感器的仪器校准原理

在传感器探头确定的情况下，参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得，而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。

将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境，通过标准具得到压力、温度的标准量，通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线，再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线，用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系，从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较，可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。

测试仪表外校商丘-费用多少严格地讲，流量仪表的离线检定结果只能说明其在检定条件下的计量特性，大多数的实际使用现场环境条件、仪表的条件和操作条件与检定条件相比有很大不同，这样会给流量仪表带来附加误差，而附加误差大小总是以一定的经验主观判断的，所以离线检定对于流量测量结果要求不高，或者说即使有附加误差也能满足预期的测量要求，不失为一种简单易行的选择。对物性参数影响的修正程度不同几乎所有流量测量仪表的测量结果都受到被测介质有关物性参数的影响，只是影响程度不一样。