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世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究

在航天领域，常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量，其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下，并且待测压力微小，此外还要求小型化、低功耗，故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。

为了保证您现在和将来都能选购到满足自己使用需求的高质量红外热像仪，FLIR列出了选购研发用红外热像仪的七大须知。它能引导您明确项目需求，帮助您选择特定应用的热像仪。基于7点建议的讨论通过指导您创建需求文件，帮助您缩小红外热像仪的选择范围，为您的 终选购指明方向。第1点：您要测量什么温度？红外热像仪的常见应用就是测量所研究物体的温度变化。测量温度时需考虑的两点是：所测物体的温度范围和希望获得的温度分辨率。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等，因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*，且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段，使其能够适应高温环境，即能*终满足测试的要求。

高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高温材料外壳和支撑架，部件连接采用固体焊接等耐高温工艺，实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量，并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施，提高了抗冲击、振动能力。
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与十年前相比，现在的电子产品具有更多的功能。工程师们不得不设计精密的系统，常以“创造性”满足严格的功率预算，以保持高能效。预测系统的维护和保护需要快速反应系统的响应。一个关键功能是监测系统的电流消耗和压降。在所有的电流检测法中，使用放大器监测分流的电流是到目前为止 常用的方法。电流检测可以使用电流检测放大器(CSA)或带有外部增益设置电阻的运算放大器(OpAmp)来实现()。这两者的选择，取决于性能要求和物料单(BOM)的目标成本。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境，我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统，通过高低温真空试验装置和人机软件的结合，为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。

1、传感器测量原理

(1) 微压力测量原理

高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理，根据Fabry-Perot共振效应，F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示，为传感器原理示意图，感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理，压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变，从而改变F-P腔腔长，引起干涉谱变化，通过测量干涉光谱，即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化，从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高，可感受两个镜面之间纳米级的位移变化，可满足500 Pa微小压力的测量需要。

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而在白车身车间的那些在线测量工具，其检测与调整则常被认为是大工件，因为它们一般都会用到测量工具。大工件的常用测量手段从对大工件的初步定义来看，其测量手段应具有三种功能：具有足够的精度，即根据测量精度分配的原则和要求，以及现场实际测量情况，当在图纸规范的1/3～1/10；具有性，并能在多次（俗称转站、蛙跳等）情况下保证测量精度；具有坐标测量功能，即配备有几何数字测量软件功能，能进行采样测量、几何要素拟合、测量坐标和评定基准构建、尺寸计算和公定、几何公差计算和评定等。

(2) 传感器的仪器校准原理

在传感器探头确定的情况下，参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得，而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。

将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境，通过标准具得到压力、温度的标准量，通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线，再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线，用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系，从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较，可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。

仪器外校梅州-外校单位功率分析仪通常用于实验室、现场的测量，环境可能是高温、高压电等危险区域测量数据，尤其是长期测量时，必须要有人时时刻刻在仪器旁边进行分析么，那是不可能的。PA功率分析仪可以通过多种方式进行远程数据的读取，如何进行的呢？通信接口PA功率分析仪了RS-23因特网、GPIUSB四种通信接口对其进行远程数据的读取。其中RS-232接口图如。四种通信方式对比如下：1.使用串口进行远程控制编程简单方便，调试容易，但干扰存在下可能会出现数据丢失，数据线长度过长时亦会有所影响。