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世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究

在航天领域，常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量，其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下，并且待测压力微小，此外还要求小型化、低功耗，故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。

监测系统根据采集到的各个逆变器的发电量及辐照值计算得到该逆变器系统中所有逆变器的发电总量及辐照总值。更进一步地，所述的监测系统将采集到的不同时间段下所有逆变器的发电总量及辐照总值绘制在横轴为时间，且纵轴为发电总量及辐照总值的图表中，具体为：所述的监测系统将采集到的不同时间段下所有逆变器的发电总量及辐照总值绘制横轴为时间且纵轴为发电总量为柱状图，并在该柱状图上以相同的时间横轴为横轴，并以辐照总值为纵轴绘制折线图。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等，因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*，且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段，使其能够适应高温环境，即能*终满足测试的要求。

高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高温材料外壳和支撑架，部件连接采用固体焊接等耐高温工艺，实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量，并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施，提高了抗冲击、振动能力。
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激光切割技术是推动以、航天飞行代表的运动载工具向高性能、轻量化、长寿命、短周期、低成本等方向发展的关键技术。尤其在工业，激光切割技术极大地促进了技术的跨越发展。一台发动机从进气道到尾喷口的各个部件的上百种零件需激光切割。激光切割的应用，解决了多项发动机难材料的切割、大型薄壁件群孔、零件叶型孔高精度切割、特种表面零件等难题。激光切割技术应用零件较多，本文以部分零件的技术介绍激光切割技术在发动机中的应用。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境，我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统，通过高低温真空试验装置和人机软件的结合，为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。

1、传感器测量原理

(1) 微压力测量原理

高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理，根据Fabry-Perot共振效应，F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示，为传感器原理示意图，感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理，压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变，从而改变F-P腔腔长，引起干涉谱变化，通过测量干涉光谱，即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化，从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高，可感受两个镜面之间纳米级的位移变化，可满足500 Pa微小压力的测量需要。

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控制被测能发出各种预期的报文。步骤2：打CANScope的报文界面和“总线负载率”界面，发送ID填入111H，DLC为0，发送次数为无限。分别调整重 0%、90%。使用ID筛选的方式，对应观察被测DUT的应用数据是否间隔时间是否正常。为筛选出被测DUT发出的181H的ID，通过增量时间的方式观察是否有异常。步骤3：打CANScope的报文界面和“总线负载率”界面，发送ID填入7FFH，DLC为8，发送次数为无限。

(2) 传感器的仪器校准原理

在传感器探头确定的情况下，参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得，而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。

将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境，通过标准具得到压力、温度的标准量，通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线，再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线，用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系，从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较，可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。

仪器外校潮州-检测公司现代实时示波器的性能比起10多年前已经有了大幅度的提升，可以满足高带宽、高精度的射频微波信号的测试要求。除此以外，现代实时示波器的触发和分析功能也变得更加丰富、操作界面更加友好、数据传输速率更高、多通道的支持能力也更好，使得高带宽实时示波器可以在宽带信号测试领域发挥重要的作用。什么射频信号测试要用示波器?时域测量的直观性要进行射频信号的时域测量的一个很大原因在于其直观性。比如在下图中的例子中分别显示了4个不同形状的雷达脉冲信号，信号的载波频率和脉冲宽度差异不大，如果只在频域进行分析，很难推断出信号的时域形状。