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世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究
在航天领域,常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量,其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下,并且待测压力微小,此外还要求小型化、低功耗,故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。

根据调整管的工作状态,我们常把稳压电源分成两类:线性稳压电源和关稳压电源。此外,还有一种使用稳压管的小电源。这里说的线性稳压电源,是指调整管工作在线性状态下的直流稳压电源。而在关电源中则不一样,关管是工作在、关两种状态下的。简单介绍下分类:NPN稳压管:内部用一个PNP管控制达林顿调整管。LDO稳压管:调整管是一个PNP管。Squasi-LDO:调整管是由一个PNP管控制一个NPN管。LDO(lowdrooutput)低压差线性稳压器LDO的工作原理是通过反馈调整MOSFET的Vsd压降以使输出电压不变。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等,因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*,且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段,使其能够适应高温环境,即能*终满足测试的要求。
高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理,使用耐高温材料外壳和支撑架,部件连接采用固体焊接等耐高温工艺,实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量,并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施,提高了抗冲击、振动能力。
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现今,激光技术的应用已广泛深入到工业、农业、事、医学乃至社会的各个方面,对人类社会的进步正在起着越来越重要的作用,正奇迹般地改变着我们的世界。有多少人真正了解激光?它是怎样产生的,又是如何工作的?这一切,涉及到一系列的伟大科学思想和科技创造。激光的属性激光,是一种自然界原本不存在的,因受激而发出的,具有方向性好、亮度高、单色性好和相干性好等特性的光。激光的产生机理可以溯源到1917年爱因斯坦解释黑体辐射定律时提出的说,即光的吸收和发射可经由受激吸收、受激辐射和自发辐射三种基本过程。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境,我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统,通过高低温真空试验装置和人机软件的结合,为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。
1、传感器测量原理
(1) 微压力测量原理
高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理,根据Fabry-Perot共振效应,F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示,为传感器原理示意图,感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理,压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变,从而改变F-P腔腔长,引起干涉谱变化,通过测量干涉光谱,即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化,从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高,可感受两个镜面之间纳米级的位移变化,可满足500 Pa微小压力的测量需要。
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尤其是前级超出人体安全电压的直流DC-DC模块电源,如137.5VDC的铁路应用模块电源、光伏应用的1200VDC模块电源产品等,没有进行隔离的话,可能就会直接物理和电气伤害。在行业,对电源的隔离要求更高,一般都要求是加强绝缘隔离,隔离越高漏电流越小,几个毫安的漏电流就可以夺走一个人的生命。GB-4943标准保护后级负载设备和系统隔离型电源输入与输出隔离分,在电源产品出现异常时,可对后级负载设备和系统的保护作用,避免其受到 伤害、物理伤害、等伤害。
(2) 传感器的仪器校准原理
在传感器探头确定的情况下,参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得,而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。
将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境,通过标准具得到压力、温度的标准量,通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线,再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线,用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系,从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较,可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。

测试仪表校准怀化-CNAS认证机构它们具有非常线性(在1kHz/94dBSPL时,总谐波失真(HarmonicDistortion,简称HD)为.1%或更优),且动态范围也很宽(通常优于3dBA至12dBA)。此外,MEMS麦克风对温度变化的敏感性很小,同样地,它们的麦克风振膜小巧轻薄,以至于对振动的敏感性比静电式麦克风低1倍以上。另外,MEMS麦克风大规模消费电子市场,因此价格也非常便宜。它们的灵敏度随时间变化依然非常稳定,通常不需要重新校准即可保持在I型规范的范围内。

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