计量器具校正宜宾-审厂

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世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究

在航天领域，常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量，其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下，并且待测压力微小，此外还要求小型化、低功耗，故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。

一般地讲，奇次谐波引起的危害比偶次谐波更多更大。在平衡的三相系统中，由于对称关系，偶次谐波已经被消除了，只有奇次谐波存在。对于三相整流 等，变频器主要产生7次谐波。“谐波”一词起源于声学。有关谐波的数学分析在18世纪和19世纪已经奠定了良好的基础。傅里叶等人提出的谐波分析方法至今仍被广泛应用。电力系统的谐波问题早在20世纪20年代和30年代就引起了人们的注意。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等，因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*，且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段，使其能够适应高温环境，即能*终满足测试的要求。

高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高温材料外壳和支撑架，部件连接采用固体焊接等耐高温工艺，实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量，并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施，提高了抗冲击、振动能力。
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CME-C1是京微雅格新近推出的高性能大容量“云”系列首颗产品，逻辑容量折合2万门级。CME-C1采用TSMnm先进工艺，采用全新的6输入查找表架构， 36x18的DSP单元，内嵌大容量每块18K位ram，高速串行接口可达6.5Gbps，通用差分I/O可达1.3Gbps，同时还内置硬核PCIe支持5G速率GenDDR3/2控制器以及PHY读写速率可达1333Mbps，各项指标均达国内水平。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境，我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统，通过高低温真空试验装置和人机软件的结合，为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。

1、传感器测量原理

(1) 微压力测量原理

高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理，根据Fabry-Perot共振效应，F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示，为传感器原理示意图，感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理，压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变，从而改变F-P腔腔长，引起干涉谱变化，通过测量干涉光谱，即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化，从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高，可感受两个镜面之间纳米级的位移变化，可满足500 Pa微小压力的测量需要。

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据预测，216年汽车电子标签(OBU)的市场需求量有近千万套。某国内ETC行业的领导企业，OBU年销量达数百万套。他们在一款OBU中使用某 MCU厂商的Cortex-M3内核芯片作为主控MCU，量产时采用为在线编程的方式，在PCB板上，对MCU进行批量烧录。就像：在烧片过程中，客户发现烧录良率非常低，经常莫名的烧录失败。每天几千套的产能要求，低良率生产，让生产部门在烧录环节束手无策。为提高产能效率及烧录的稳定性，客户请求技术支持。

(2) 传感器的仪器校准原理

在传感器探头确定的情况下，参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得，而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。

将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境，通过标准具得到压力、温度的标准量，通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线，再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线，用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系，从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较，可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。

计量器具校正宜宾-审厂 对于蓝色的曲线，我们看出它是一条经过原点的直线，它的动态电阻阻值不随着电压和电流的变化而变化，满足这种伏安特性曲线的元件被称为线性元件；反之，对于红色的曲线，我们看出它是一条曲线，它的动态电阻阻值随着电压和电流的变化而变化。满足这种伏安特性曲线的元件被称为非线性元件。电阻的第三个用途：用于分析电压和电流之间的关系，以便了解对应着的物理意义。我们看下图：上图是关电器主触头弧隙电弧对应的伏安特性曲线，用于分析电弧的物理特点和灭弧方法；下图是隧道二极管的伏安特性曲线，我们能看到明显的隧道效应。