仪器计量淮南-审厂

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世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究

在航天领域，常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量，其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下，并且待测压力微小，此外还要求小型化、低功耗，故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。

必须是交流电供电。互换性目前，湿度传感器普遍存在着互换性差的现象，同一型号的传感器不能互换，严重影响了使用效果，给维修、调试增加了困难，有些厂家在这方面作出了种种努力，（但互换性仍很差）取得了较好效果。湿度校正校正湿度要比校正温度困难得多。温度标定往往用一根标准温度计作标准即可，而湿度的标定标准较难实现，干湿球温度计和一些常见的指针式湿度计是不能用来作标定的，精度无法保证，因其要求环境条件非常严格，一般情况，（在湿度环境适合的条件下）在缺乏完善的检定设备时，通常用简单的饱和盐溶液检定法，并测量其温度。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等，因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*，且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段，使其能够适应高温环境，即能*终满足测试的要求。

高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高温材料外壳和支撑架，部件连接采用固体焊接等耐高温工艺，实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量，并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施，提高了抗冲击、振动能力。
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气动测量技术可用于机械过程中的自动测量，也可以对后的工件进行长度、形状、位置尺寸的测量。具有测量精度高、灵敏度高、可靠性好、使用寿命长、操作方便、可以实现非接触及远距离测量、便于在过程中实现自动测量控制等优点。气电组合测量技术使气动测量技术和电子放大数字显示技术结合起来，把测量精度和测量可靠性又向前推进了一步。浮标式气动量仪的运用气动量仪 为常见的形式是浮标气动量仪。这种量仪结构简单，使用维修方便，价格较低。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境，我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统，通过高低温真空试验装置和人机软件的结合，为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。

1、传感器测量原理

(1) 微压力测量原理

高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理，根据Fabry-Perot共振效应，F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示，为传感器原理示意图，感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理，压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变，从而改变F-P腔腔长，引起干涉谱变化，通过测量干涉光谱，即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化，从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高，可感受两个镜面之间纳米级的位移变化，可满足500 Pa微小压力的测量需要。

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传统的微功率电源模块采用自激推挽拓扑的电路，效率、容性负载、启动能力等各项性能之间的相互制约，如表1所示：启动能力与容性负载能力相互加强作用，而与电源转换效率是相互制约的，启动能力强则电源转换效率低。难以均衡、难以采用常规技术突破，导致成本高、性价比低；同时该拓扑结构电路是无异常工况保护功能，在电路出现异常工作状态时，会导致电源模块损坏，甚至导致灾难性的后果，而且行业内的微功率电源模块有如下三道难题：表1各性能相互制约表难题一：输出短路保护与输出特性市面上支持短路保护的电源主要采用两种方案，但均存在较大的缺陷：行业内比较常用的方法是利用变压器绕组分离的技术实现长期输出短路保护功能，但采用这种方式带来的后果是大大减低了产品的转换效率、纹波噪声较大并且提高了成本；采用自主磁芯专利技术实现可持续短路保护，但为避免短路时，后端重载会导致模块损坏，因此输出容性负载能力差。

(2) 传感器的仪器校准原理

在传感器探头确定的情况下，参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得，而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。

将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境，通过标准具得到压力、温度的标准量，通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线，再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线，用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系，从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较，可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。

仪器计量淮南-审厂在熄火时ECM了喷油和点火的控制信号。ECM已经换过了，并且在熄火时从波形上看喷油器的供电没问题，ECM了喷油器接地和点火线圈控制方波信号。这说明ECM在正常的工作，但是为什么会熄火呢？接上GDS试车读取在熄火时的数据流对比如下图。通过数据流对比只发现在熄火时发动机负荷小，喷油时间短，空流计，歧管压力传感器数值都特别小。那会不会是因为变速箱断不档，把发动机转速拖慢而导致进气特别小呢？试车查看变速箱数据如下图。