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世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究

在航天领域，常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量，其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下，并且待测压力微小，此外还要求小型化、低功耗，故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。

尺度的称重传感器，秤体重量的，可能的部分负载和动态负载因素的评估，以确定的数量，选择可以基于传感器范围选择。一般应在30％至70％的范围内的传感器的工作经验的基础上，但有较大的冲击称重传感器的选择，一般在20％至30％的范围内，以确保传感器的安全使用。 ：选择准确性精度是传感器的一个重要的性能指标，它关系到整个测量系统的测量精度的一个重要部分。传感器的精度越高，它的价格比较昂贵，所以传感器的精度只要你能满足整个测量系统的精度要求，不要选择了。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等，因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*，且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段，使其能够适应高温环境，即能*终满足测试的要求。

高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高温材料外壳和支撑架，部件连接采用固体焊接等耐高温工艺，实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量，并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施，提高了抗冲击、振动能力。
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不仅解决了这些行业的难题，同时也为这些行业带来了更多的解决方案，是现在发展的又一次飞跃。现在光纤激光器的高速发展，离不现在光纤激光器的双包层结构和包层泵浦技术的支持，也离不现在的半导体激光工艺的成熟，而光纤光栅的刻划和多元耦合器的实现着无疑不是推动了现在光纤激光器的快速发展，让现在的光纤激光技术能够快速渗透到我们现在的众多方面。目前我们的光纤激光器主要是通过参杂稀有元素作为激光介质，包括掺杂Yb3+，Nd3+，Er3+，Ho3+，Tm3+等离子材料。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境，我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统，通过高低温真空试验装置和人机软件的结合，为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。

1、传感器测量原理

(1) 微压力测量原理

高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理，根据Fabry-Perot共振效应，F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示，为传感器原理示意图，感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理，压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变，从而改变F-P腔腔长，引起干涉谱变化，通过测量干涉光谱，即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化，从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高，可感受两个镜面之间纳米级的位移变化，可满足500 Pa微小压力的测量需要。

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Lamb(兰姆)波是二维波,与三维体波相比具有衰减速度慢,传播距离远的特点,因此常被用于大型板材的长距离及快速无损检测中。板材中兰姆波与管中、变截面波导介质中的导波一样,具有频散性与多模态性。加上环境噪声等多方面因素的影响,导波检测时传感器接收到的Lamb波信号非常复杂,属于非平稳随机信号,需要利用有效的信号技术提取有用的信息成分才能确定合适的激励方式,获得更好的检测成像效果。传统的Lamb波信号的方法包括反射系数法、傅里叶变换法、小波变换法、动态光法等,但是这些方法都有各自的不足。

(2) 传感器的仪器校准原理

在传感器探头确定的情况下，参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得，而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。

将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境，通过标准具得到压力、温度的标准量，通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线，再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线，用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系，从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较，可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。

计量器具外校孝感-报价多少然而，近年来，也有专业人士已经意识到，要使晶体管更加微小，摩尔定律将会遇到不可逾越的障碍，传统的硅芯片计算机总有一天要遭遇极限。反摩尔定律反摩尔定律是Google的前CEO埃里克施密特提出的：如果你反过来看摩尔定律，一个IT公司如果今天和18个月前掉同样多的、同样的产品，它的营业额就要降一半。IT界把它称为反摩尔定律。消极影响：反摩尔定律对于所有的IT公司来讲，都是非常可怕的，因为一个IT公司花了同样的劳动，却只得到以前一半的收入。