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世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究

在航天领域，常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量，其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下，并且待测压力微小，此外还要求小型化、低功耗，故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。

终，一个为多家汽车厂商子部件的厂家就有可能必须根据不同的标准，采用不同的方法，在同一个频率范围内测试同样的部件。为了满足客户的测试需求，部件厂商可以采用一系列针对ISO11452和SAEJ1113中包含的RF测试规范而设计的汽车部件测试系统来帮助完成工作。这些测试系统通常都是自含（self-contained）系统，遵循所有标准中规定的级别测试规范。采用这样的系统之后，部件厂商在对多个标准进行测试时，用到的许多测试仪器都是相同的，因而能节省大量资金。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等，因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*，且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段，使其能够适应高温环境，即能*终满足测试的要求。

高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高温材料外壳和支撑架，部件连接采用固体焊接等耐高温工艺，实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量，并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施，提高了抗冲击、振动能力。
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电子互感器由连接到传输系统和二次转换器的一个或多个电压或电流传感器组成的装置，用以传输正比于被测量的量，供给测量仪器、仪表和继电保护或者控制装置。在数字接口的情况下，一组电子互感器共用一台合并单元完成此功能。图一电子互感器电子互感器符合变电站的发展趋势现阶段变电站建设的过程中，自动化已经逐渐成为了主要的建设趋势，并且自动化系统不断得到扩展，传统的仪器设备已经逐渐过渡为智能化的先进设备。常规的电磁互感器设备已经成了变电站智能化建设的瓶颈，难以保证变电站自身智能化技术的发展与应用。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境，我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统，通过高低温真空试验装置和人机软件的结合，为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。

1、传感器测量原理

(1) 微压力测量原理

高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理，根据Fabry-Perot共振效应，F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示，为传感器原理示意图，感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理，压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变，从而改变F-P腔腔长，引起干涉谱变化，通过测量干涉光谱，即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化，从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高，可感受两个镜面之间纳米级的位移变化，可满足500 Pa微小压力的测量需要。

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上升时间的定义顶部值、底部值的定义为什么要测量上升时间在日常对待信号快慢的态度上，小伙伴们一般只关心信号的频率，而不关心信号的上升时间。兔子是跑得快，但跑得慢的不一定是乌龟。在标准的正弦波中，上升时间与频率是纯洁的数学关系，但在实际中，从傅里叶级数可知，实际的波形是基波和高次谐波混合的产物。波形高次谐波的比重越大，其上升时间就越短。与信号的频率相比，上升时间更能代表信号的快慢。所以不要小看低频的信号，只要它的上升沿是在瞬间爆发的，则足以引起信号的振铃、反射、过冲等一系列问题。

(2) 传感器的仪器校准原理

在传感器探头确定的情况下，参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得，而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。

将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境，通过标准具得到压力、温度的标准量，通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线，再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线，用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系，从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较，可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。

轻工实验室恩施-认证公司“手拉手”式连接但是在绝大多数的工业现场、轨道机车中，由于整体线缆非常多，均需要使用接线排，以方便维护。所以会采用“T”型分支式连接。“T”型连接“T”型连接分支约束T型接线方式会存在由于分支长度以及分支长度的积累造成阻抗的不连续，因而接头处产生信号“反射”的现象。反射的信号量由瞬态阻抗的变化量决定，变化量越大，反射就越严重。分支处产生的是负相反射，引起信号电平下冲，这种下冲可能会超过噪声容限，造成误触发。