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世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究

在航天领域，常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量，其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下，并且待测压力微小，此外还要求小型化、低功耗，故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。

在该电源接入电网后，会对电网内其他的用电设备产生影响，导致电网内直流电源的输出纹波较高，无法正常测试。即使移除地线的连接，将交直流源各自分至很远的位置，并通过不同的空接入后，干扰依旧存在。某品牌电源对电网内直流源输出干扰波形而在相同的测试环境使用APM全天科技可编程交流电源后，直流源输出纯净稳定，无任何影响。APM全天科技可编程交流电源通过严苛的EMC测试等级，符合欧盟电磁兼容指令214/3/EU/EN61326-1:213ClassA以及FCCCFR47第15部分的要求。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等，因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*，且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段，使其能够适应高温环境，即能*终满足测试的要求。

高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高温材料外壳和支撑架，部件连接采用固体焊接等耐高温工艺，实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量，并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施，提高了抗冲击、振动能力。
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相邻蜂窝与扇区之间的能量重叠是一个关键的性能指标。扇区功率比是对在某个期望的接收区域内、外获得的信号功率进行的比较，作为某个天线辐射方向图的结果。该比值越低，说明天线的性能越好。在蜂窝网络应用中，扇区功率比越高，则表示相邻覆盖区域内天线之间的干扰越高。由于在重叠区域内信号的竞争，干扰可能会增加，并 终降低性能。这会导致诸如电话掉话等性能问题；为防止出现这样的干扰，必须进行的扇区分割规划。为了支持巨大数量的语音和数据通信流量，蜂窝网络会在整个网络内多次重复利用频率或信道编码。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境，我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统，通过高低温真空试验装置和人机软件的结合，为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。

1、传感器测量原理

(1) 微压力测量原理

高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理，根据Fabry-Perot共振效应，F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示，为传感器原理示意图，感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理，压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变，从而改变F-P腔腔长，引起干涉谱变化，通过测量干涉光谱，即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化，从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高，可感受两个镜面之间纳米级的位移变化，可满足500 Pa微小压力的测量需要。

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本文将描述精度、分辨率和动态范围之间的差异。本文还将揭示信号链内部的不性是如何累积并导致误差的。定义新设计的系统参数时，这些内容对于理解如何正确或选择一个ADC有着重要作用。精度、分辨率与动态范围许多转换器用户似乎在互换使用精度和分辨率这两个术语，但这种法是错误的。精度和分辨率这两个术语并不相等，但是具有相关性，所以，不应互换使用。可以把精度和分辨率视为堂兄，但不是双胞胎。精度就是误差，或者说测量值偏离真值的幅度。

(2) 传感器的仪器校准原理

在传感器探头确定的情况下，参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得，而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。

将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境，通过标准具得到压力、温度的标准量，通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线，再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线，用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系，从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较，可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。

测试设备校正郴州-认证中心由于在交变电压下主要按电容分压，故能够有效地暴露设备绝缘缺陷。它主要达到如下目的：检测绝缘耐压受工作电压或过电压的能力；检查电气设备绝缘或检修质量；排除因原材料、或运输对绝缘的损伤，降低产品早期失效率；检验绝缘的电气间隙和爬电距离。绝缘电阻测量绝缘电阻是电气设备和电气线路 基本的绝缘指标。绝缘电阻是指用绝缘材料隔的两部分导体之间的电阻称绝缘电阻为了保证电气设备运行的安全，应对其不同极性(不同相)的导电体之间，或导电体与外壳之间的绝缘电阻提出一个要求。