测试仪器计量许昌-校验公司

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世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究

在航天领域，常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量，其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下，并且待测压力微小，此外还要求小型化、低功耗，故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。

在实际应用过程中，电容老化测试设备内部可编程电源输出的合理纹波和数米长线缆上耦合的高频噪声容易干扰漏电流检测结果。可编程电源输出经过数米长线缆后， 终注入电容LC测试功能模块。当干扰噪声严重时，现场实际测量的uA级漏电流结果误差增大，甚至可能出现负值，造成产品测试异常，带来终端客户抱怨。我们如何才能在工厂内部复杂电磁环境下确保电容样品漏电流特性的高精度测量呢？下面分享某电容老化测试客户高精度供电干扰改善案例，利用TDK-Lambda业界的可编程电源匹配合理外围方案，从而解决传统电容老化客户普遍面临的痛点问题。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等，因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*，且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段，使其能够适应高温环境，即能*终满足测试的要求。

高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高温材料外壳和支撑架，部件连接采用固体焊接等耐高温工艺，实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量，并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施，提高了抗冲击、振动能力。
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如果要对一个信号进行数小时甚至数天的自动监控，自动发现条件异常后立刻进行波形存储与对应，可以通过设置GO-NOGO的判断条件，由ZDL6示波 自动对信号进行合法判断和。GO-NOGO波形范围判断在菜单中选择GO-NOGO功能，选择为波形模式，在区域功能一个通道，通过波形范围的偏移，得到一个合法的判断区域， 多允许保存6个自定义区域。区域一旦生成，后续可以反复使用和调整。区域生成后，可以在判断功能内，波形和区域的对应关系和动作，一旦在采集期间满足设定条件，将执行对应动作，可将当前波形进行存储，并通过蜂鸣、邮件等方式通知工程师。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境，我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统，通过高低温真空试验装置和人机软件的结合，为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。

1、传感器测量原理

(1) 微压力测量原理

高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理，根据Fabry-Perot共振效应，F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示，为传感器原理示意图，感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理，压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变，从而改变F-P腔腔长，引起干涉谱变化，通过测量干涉光谱，即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化，从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高，可感受两个镜面之间纳米级的位移变化，可满足500 Pa微小压力的测量需要。

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早毫米波雷达是24GHz的窄带毫米波雷达，带宽通常不到2MHZ，精度只有75厘米，目标分离能力只有1.5米，显然这太低了，即便作为盲点检测也有点低了。这之后出现了超宽带24GHz毫米波雷达，带宽达7GHz，精度可达2.2厘米。GHz硅基毫米波雷达技术正在实现新一代现实世界，越来越多地用于汽车、无人机、泛工业和消费类应用等大众市场应用的非接触式智能传感器。ADI的新型24GHz雷达产品出色的性能和高集成度，是小尺寸、低成本且易用的超低功耗解决方案，适用于物理检测、跟踪、安全控制和防撞告系统等应用。

(2) 传感器的仪器校准原理

在传感器探头确定的情况下，参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得，而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。

将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境，通过标准具得到压力、温度的标准量，通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线，再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线，用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系，从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较，可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。

测试仪器计量许昌-校验公司而对于这些设备来说，信号的完整性变得非常重要，特别是线路板的阻抗对信号完整性起到了至关重要的作用。SequidTDR作为专业的线路板阻抗测量工具拥有优越的性能，抖动Jrms500fs的差分阶跃信号源，物理上升时间65ps，Sequid特有的算法，能通过算法计算出上升时间不同上升时间的阻抗差别，算法上升时间可达25ps，这完全可以测试距离非常短的高速线路。由于距离越短的线路测试的误差会越大，通过的校准给线路补偿是非常必要的，Sequid的TDR有带有 的补偿功能，通过open、short及负载的校准，让连接位置及线路损耗得到了很好的补偿。