仪器计量河南-检测公司

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世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究

在航天领域，常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量，其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下，并且待测压力微小，此外还要求小型化、低功耗，故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。

但是价格高且样品质量要求高，对操作员素质要求也很高，一般小厂难以承受。红外分析法则简单可行。其工作原理是基于某些气体对不同波长的红外线辐射具有选择性吸收的特性，其吸收程度取决于被测气体的浓度。对于不同的分子化合物，每种分子只能吸收某一波长范围的红外辐射能，即每种分子化合物都有一个或几个特定的吸收频率，叫特征频率。CO、CO2有其固定的特征频率，因此烟气中的CO、CO2量很容易被检测出来。红外分析仪还有以下几个方面的优点：良好的选择性。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等，因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*，且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段，使其能够适应高温环境，即能*终满足测试的要求。

高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高温材料外壳和支撑架，部件连接采用固体焊接等耐高温工艺，实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量，并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施，提高了抗冲击、振动能力。
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ViscoTec维世科推出的全新preefloweco-SPRAY精密螺杆计量喷胶机旨在迅速均匀地涂敷Panacol的一种用于掩膜和保形涂层的胶水。这项新技术可实现 效果，无论喷涂低粘度还是高粘度UV胶均可优异的边缘清晰度。采用ViscoTec维世科的eco-SPRAY，即可轻而易举地将高粘度高于1,mPas的胶水喷涂至大尺寸表面：即便是涂敷高粘度物料，如Panacol的液体密封剂VitralitFIPG612或掩膜的VitralitMASK212等，这款全新点胶机依然可快速完成喷涂任务。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境，我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统，通过高低温真空试验装置和人机软件的结合，为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。

1、传感器测量原理

(1) 微压力测量原理

高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理，根据Fabry-Perot共振效应，F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示，为传感器原理示意图，感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理，压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变，从而改变F-P腔腔长，引起干涉谱变化，通过测量干涉光谱，即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化，从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高，可感受两个镜面之间纳米级的位移变化，可满足500 Pa微小压力的测量需要。

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横河SMU除了具有精度高、稳定性强和响应速度快等优点外，还具有分辨率高、噪声低、可四象限运行、同时具备测量通道与源发生通道以及拥有强大的可编程能力和可扩展等特性。灵活运用这些特性，可使横河的SMU在生物化学、材料器件和信息通信等领域满足各式各样的测试需求，帮助研究人员优化试验方案，提高测试系统的效率以及设计和生产效率。本期将着重介绍SMU的各种基础应用方案。用作基准电流电压源及任意波形发生器SMU的GS系列产品基本精度可达.16%，温度系数可达±.8%，除了可用作直流基准电流电压源外，GS6GS82还具有脉冲发生模式，可以用作脉冲电流电压源。

(2) 传感器的仪器校准原理

在传感器探头确定的情况下，参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得，而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。

将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境，通过标准具得到压力、温度的标准量，通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线，再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线，用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系，从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较，可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。

仪器计量河南-检测公司了解电磁干扰的产生原因是电磁干扰，提高电子产品电磁兼容性的重要前提。电磁干扰的产生可以分为：1.内部干扰内部电子元件之间的相互干扰工作电源通过线路的分布电源和绝缘电阻产生漏电造成的干扰。信号通过地线、电源和传输导线的阻抗互相耦合，或导线之间的互感造成的影响。设备或系统内部某些元件发热，影响元件本身及其他元件的稳定性造成的干扰。大功率和高点压部件产生的磁场、电场通过耦合影响其他部件造成的干扰。