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世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究

在航天领域，常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量，其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下，并且待测压力微小，此外还要求小型化、低功耗，故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。

对于测量系统，要求具有能在高精度、宽频带、高稳定性和分辨率下同时并实时测量这些动态变化的装置的输入输出参数的性能。特别是电流，需要即使温度变化也没有失调漂移的DC测量性能和高精度覆盖PWM的高频关频率，并且能测量超过1Arms大电流的性能，而使用普通的分流电阻或CT（电流转换器）、霍尔元件的电流探头是无法到的。要到这些，要通过不使用霍尔元件的磁通门方式检测DC，同时使用宽频带化的高精度电流传感器是 合适的方法。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等，因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*，且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段，使其能够适应高温环境，即能*终满足测试的要求。

高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高温材料外壳和支撑架，部件连接采用固体焊接等耐高温工艺，实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量，并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施，提高了抗冲击、振动能力。
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测量值与已知标准值之间的关系往往被称为传递函数。请见,当测量值调整时,这种关系也将根据已知校准基准进行微调。理想情况下，传递函数呈现为跨整个量程的 线性，但在实际操作中大多数测量均会因被测量的大小不同而在灵敏度上发生一些变化。这种类型的瑕疵被称之为非线性(见)。这种现象通常在量程的极限处比较突出。核实精度规范是否包含非线性以及精度是否适用于全量程范围非常必要。若非如此，那么就有理由对接近极限值的测量精度表示怀疑。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境，我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统，通过高低温真空试验装置和人机软件的结合，为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。

1、传感器测量原理

(1) 微压力测量原理

高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理，根据Fabry-Perot共振效应，F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示，为传感器原理示意图，感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理，压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变，从而改变F-P腔腔长，引起干涉谱变化，通过测量干涉光谱，即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化，从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高，可感受两个镜面之间纳米级的位移变化，可满足500 Pa微小压力的测量需要。

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可以作为标准测试纳入产品的测试流程中，也可以为电子工程师设计稳定可靠的通信电路直观的参考。以太网分析具体支持哪些功能？支持1base-TX标准的以太网信号分析；支持以太网眼图功能；支持发送抖动，幅值特性，上升下降时间，占空比失真等单项测试功能；支持完整测试功能（即是包括以上的单项测试功能），仅有该功能可导出测试报告；自动设置测试环境，免除手动操作；支持长时间测试统计，验证信号稳定性。以太网分析可以得到哪些结果？以太网眼图分析界面如所示：以太网眼图分析界面完整测试后的数据报表可直接导出，支持网页报表“html”数据格式，如所示为导出的网页报表文件截图示例。

(2) 传感器的仪器校准原理

在传感器探头确定的情况下，参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得，而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。

将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境，通过标准具得到压力、温度的标准量，通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线，再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线，用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系，从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较，可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。

仪器校验安徽-校验公司所示是门控本振的工作框图，门控信号控制着扫描发生器什么时候扫描，什么时候通过信号，这就使得451只在门选通期间测量信号频谱。因此只要控制着451在f1频率期间测量信号频谱，即可获得跳频源在f1频率周围的杂散频谱。门控本振工作原理图方法一：外部触发门控信号测试杂散时间门功能测试跳频源杂散连接图跳频源射频输出接入到451的射频输入端口，当跳频源工作在f1频点时，一个同步触发信号给451的门控输入端口。