量具校验眉山-检验报告

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世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究

在航天领域，常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量，其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下，并且待测压力微小，此外还要求小型化、低功耗，故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。

原因是因为如果交流信号测量数据的间隔如果与信号周期不同步的话，相当于测试的数据是非整周期，那么计算的结果也将不准确。功率分析仪检测和计算信号的周期是同步源来决定的，所以选择准确的同步源对测试结果非常关键。同步源选择的原则是尽可能的选择接近正弦波的信号，比如电网工频电我们一般选择电压为同步源，又如电机驱动输出的PWM信号，我们可以选择电流同步源。PLL源的选择除了同步源信号对测量数据有很大影响以外，我们在谐波分析设置时，还有一个非常关键的源——PLL源。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等，因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*，且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段，使其能够适应高温环境，即能*终满足测试的要求。

高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高温材料外壳和支撑架，部件连接采用固体焊接等耐高温工艺，实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量，并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施，提高了抗冲击、振动能力。
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上表所示为使用LabSat输出上的多种外部衰减器，以UBLOXGPS引擎测得的C/No值。对于每项外部衰减器值，LabSatRF水平均按5dB的步阶变化。根据表中所示，信噪比控制的线性度随着外部衰减的增加而改善。但如果外部衰减远高于40dB，内部可用的滑块范围就会减少。左侧屏幕截图所示为UBLOXU-Center软件的输出示例。GPGSVNMEA信息会打，以显示每颗 的C/NO水平。UBLOXTIM-LA装置采用以下设置进行测试：?LabSat?使用SatGen生成的静态场景?2个20dBm衰减器(MinicircuitsVAT-20W2)针对TIM-LA，UBLOX数据表采用-138dBm用于捕获灵敏度，-146dBm用于跟踪灵敏度。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境，我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统，通过高低温真空试验装置和人机软件的结合，为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。

1、传感器测量原理

(1) 微压力测量原理

高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理，根据Fabry-Perot共振效应，F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示，为传感器原理示意图，感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理，压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变，从而改变F-P腔腔长，引起干涉谱变化，通过测量干涉光谱，即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化，从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高，可感受两个镜面之间纳米级的位移变化，可满足500 Pa微小压力的测量需要。

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燃煤发电机组大气污染物排放浓度基本达到燃气轮机组排放限值（即在基准氧含量6％条件下，烟尘、、氮氧化物排放浓度分别不高于10、350mg／m3）。而目前关于超低排放颗粒物排放测量 标准《固定污染源烟气排放连续检测技术规范（试行）》（HJ／T75）中参比方法验收技术考核指标要求，当颗粒物排放浓度不大于50mg／m3时，误差不超过±15mg／m3，而电厂实现“超低排放”后，颗粒物浓度要降低到10mg／m3，甚至5mg／m3，数值已经小于误差。

(2) 传感器的仪器校准原理

在传感器探头确定的情况下，参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得，而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。

将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境，通过标准具得到压力、温度的标准量，通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线，再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线，用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系，从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较，可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。

量具校验眉山-检验报告泰克科技公司日前宣布，为Keithley4200A-SCS参数分析仪推出两款源测量单元(SMU)模块，即使在由于长电缆和复杂的测试设置而产生高负载电容时，其仍能执行低电流测量。许多主要测试应用都面临着这一挑战，如LCD显示器和卡盘上的纳米FET器件测试。在被测器件本身电容很小的情况下，许多低电流测量应用中所需要的测试设置也会增加SMU输出端的电容。当测试连接电容太大时， 终的低电流测量结果可能会变得不稳定。