测试仪器校验泸州-校准单位

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世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究

在航天领域，常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量，其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下，并且待测压力微小，此外还要求小型化、低功耗，故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。

模块具有2种转换方式包括透明转换方式和透明带标示转换方式。其中透明转换方式会预先设定数据帧ID，串口只需要发送报文数据段信息，其余信息模块会自动填充完整。透明带标识转换方式通过既定的协议格式可以将CAN总线报文的类型、ID转发到串口数据的相应字段。这两种方式在不同应用场景下灵活组合可以实现多种功能。图1CSM1实物、结构图应用方案CSM1这个小模块不仅仅是串口与CAN数据的转换，在很多应用场景中起着必不可少的作用。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等，因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*，且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段，使其能够适应高温环境，即能*终满足测试的要求。

高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高温材料外壳和支撑架，部件连接采用固体焊接等耐高温工艺，实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量，并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施，提高了抗冲击、振动能力。
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作为眼科检查不可或缺的重要仪器——裂隙灯显微镜，摆脱传统线缆的束缚以实现高自由度、超长寿命检测也成为了重要的发展方向。ZigBee无线通讯通过在数码裂隙灯的应用，解决局限性。裂隙灯显微镜由照明系统和双目显微镜组成，它不仅能将眼球表面浅层组织的变观察得十分清楚，而且可以调节焦点和光源宽窄，成“光学切面”，使深部组织的变也能清楚地显现。图1数码裂隙灯项目案例数码裂隙灯可以以观测眼部，由于要多方位，传统使用的有线控制机台会使通讯线磨损，缩短了机台的正常使用寿命，所以更换无线方案，减少磨损以延长正常使用寿命迫在眉睫。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境，我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统，通过高低温真空试验装置和人机软件的结合，为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。

1、传感器测量原理

(1) 微压力测量原理

高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理，根据Fabry-Perot共振效应，F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示，为传感器原理示意图，感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理，压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变，从而改变F-P腔腔长，引起干涉谱变化，通过测量干涉光谱，即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化，从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高，可感受两个镜面之间纳米级的位移变化，可满足500 Pa微小压力的测量需要。

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测试时在背板的输入端加载串行数据（分别加载理想的，带抖动的，带预加重的，可以调节信号速率），在背板的输出端用示波器测试串行数据经过背板传输后的结果，从而可以分析出背板对信号的影响，也可以测试出被测背板可以传输多高信号速率的串行数据。当进行背板的有源测试时，需要一台能够产生不同速率串行数据的码型发生器或误码仪，除了速率可调外，要能够产生小抖动、快上升时间的理想码型，要能够产生带各种抖动成分的抖动码型，要能够产生带预加重的预加重码型等。

(2) 传感器的仪器校准原理

在传感器探头确定的情况下，参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得，而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。

将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境，通过标准具得到压力、温度的标准量，通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线，再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线，用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系，从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较，可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。

测试仪器校验泸州-校准单位取用时，若瓶塞顶是扁平的。可将瓶塞倒置分析台上，若瓶塞顶不是扁平的，可用食指和中指将瓶塞夹持或放在清洁干燥的表面皿上，严禁将瓶塞横置在分析台上；对固体试剂应用干净的勺取用，若试剂结块，可用洁净干燥的粗玻璃棒或 不锈钢将其捣碎后再取。取出试剂后，应立即盖紧瓶塞，以防搞错瓶塞，污染试剂。用过的勺和玻璃棒必须及时洗净。一般固体试剂可在干净的蜡光纸上称量，具有腐蚀性，强氧化性或易潮解的固体试剂应在下班器皿内称量，绝不能用滤纸来称量。