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世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究

在航天领域，常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量，其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下，并且待测压力微小，此外还要求小型化、低功耗，故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。

CAN线短接到地线：l测试在CAN_H对地短路1分钟，恢复后DUT是否能恢复通讯;l测试CAN_L对地短路1分钟，恢复后DUT是否能恢复通讯;l测试CAN_H和CAN_L同时对地短路1分钟，恢复后DUT是否能恢复通讯。CAN线短接到电源线：l测试在CAN_H对电源短路1分钟，恢复后DUT是否能恢复通讯;l测试CAN_L对电源短路1分钟，恢复后DUT是否能恢复通讯;l测试CAN_H和CAN_L同时对电源短路1分钟，恢复后DUT是否能恢复通讯。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等，因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*，且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段，使其能够适应高温环境，即能*终满足测试的要求。

高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高温材料外壳和支撑架，部件连接采用固体焊接等耐高温工艺，实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量，并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施，提高了抗冲击、振动能力。
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据估算,ZigBee设备仅靠两节5号电池就可以维持长达6个月到2年左右的使用时间,这是其它无线设备望尘莫及的。成本低ZigBee模块的初始成本在6美元左右,估计很快就能降到1.5—2.5美元,并且ZigBee协议是免专利费的。低成本对于ZigBee也是一个关键的因素。低复杂性zigbee协议的大小一般在4-32KB，而蓝牙和wi-fi一般都超过100KB。时延短:通信时延和从休眠状态的时延都非常短,典型的搜索设备时延30ms,休眠的时延是15ms,活动设备信道接入的时延为15ms。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境，我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统，通过高低温真空试验装置和人机软件的结合，为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。

1、传感器测量原理

(1) 微压力测量原理

高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理，根据Fabry-Perot共振效应，F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示，为传感器原理示意图，感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理，压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变，从而改变F-P腔腔长，引起干涉谱变化，通过测量干涉光谱，即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化，从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高，可感受两个镜面之间纳米级的位移变化，可满足500 Pa微小压力的测量需要。

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LED灯具作为节能项目的重要手段，正得到越来越广泛的应用。而大型LED灯具同样有相对较大的发热量，散热结构的好坏影响着LED灯具的质量及寿命，红外热像仪通过检测LED灯具散热器表面的温度分布，帮助工程师改善散热设计，提高LED灯具的产品质量及寿命。为什么要对LED灯具进行散热由于LED的功率在不断提高，及空间具有一定局限性，LED灯具散热成了比较突出的问题，需要发更加专业的散热器才能在今后满足LED灯具对于散热的更高需求。

(2) 传感器的仪器校准原理

在传感器探头确定的情况下，参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得，而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。

将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境，通过标准具得到压力、温度的标准量，通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线，再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线，用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系，从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较，可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。

测试仪表校准达州-CNAS认证机构而基于成像光度测量灯具光强分布的研究由于更加复杂，精度难以提高，目前仍处于研究阶段。灯具的分布光度测量是灯具设计和照明设计中质量控制的重要环节，尤其是随着LED等新光源和新兴照明技术的发展，对灯具分布光度测量提出了新的挑战。因此我们根据目前发展状况及需求，进行基于成像光度法的LED光强分布测试的分布光度计研制。目前国内灯具市场产品质量良莠不齐，每年有大量新款灯具涌入市场。其实际照明效果的评估往往得不到有效评估。