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世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究

在航天领域，常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量，其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下，并且待测压力微小，此外还要求小型化、低功耗，故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。

可在各种恶劣天气下使用。坚固耐用、全天候应用。 分辨率；选择的分辨率越高，图像细节和距离性能更优。mm到1mm的可更换镜头。红外夜视仪让您能够在漆黑的环境下看清物体。高达2倍，4倍的电子变焦让您能够获得更多细节信息。捕获静态图像和。电子变焦4倍电子变焦产品图例可切换镜头应用领域人员和搜救组织难以组织难以在漆黑环境中或恶劣天气下寻找失踪人员。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等，因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*，且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段，使其能够适应高温环境，即能*终满足测试的要求。

高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高温材料外壳和支撑架，部件连接采用固体焊接等耐高温工艺，实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量，并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施，提高了抗冲击、振动能力。
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另外，通过使用温度补偿功能的话，还可以换算成标准温度中的体积电阻率来显示。如下图所示：需要注意的是：测量测试片时请使用带护套的4端子测试线L214。P23：23[℃]时的体积电阻率[μΩm]R23：测试片的实测电阻值换算为23[℃]时的值的电阻值L：测试片的长度[m]A：测试片的横截面积[mm2]体积电阻率测量的详细内容请参考JISC2525金属电阻材料的导体电阻以及体积电阻率测试方法。测量测试片时请使用带护套的4端子测试线L214。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境，我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统，通过高低温真空试验装置和人机软件的结合，为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。

1、传感器测量原理

(1) 微压力测量原理

高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理，根据Fabry-Perot共振效应，F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示，为传感器原理示意图，感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理，压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变，从而改变F-P腔腔长，引起干涉谱变化，通过测量干涉光谱，即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化，从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高，可感受两个镜面之间纳米级的位移变化，可满足500 Pa微小压力的测量需要。

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本文讲述运放的参数和选择方面的知识，希望对有需要的读者有帮助。偏置电压和输入偏置电流在精密电路设计中，偏置电压是一个关键因素。对于那些经常被忽视的参数，诸如随温度而变化的偏置电压漂移和电压噪声等，也必须测定。的放大器要求偏置电压的漂移小于200μV和输入电压噪声低于6nV/√Hz。随温度变化的偏置电压漂移要求小于1μV/℃。低偏置电压的指标在高增益电路设计中很重要，因为偏置电压经过放大可能引起大电压输出，并会占据输出摆幅的一大部分。

(2) 传感器的仪器校准原理

在传感器探头确定的情况下，参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得，而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。

将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境，通过标准具得到压力、温度的标准量，通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线，再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线，用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系，从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较，可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。

轻工实验室福建-电话RF下变频器将这些高频信号转换成较低的中频（IF），它们可以由现有设备进行分析。它维护进行分析所需的所有信号属性和信息，但可以使用现有硬件实现这一点。ThinkRFD23RF下变频器旨在将现有分析仪和3G/4G测试设备的频率范围扩展到5G。通过将RF从27-3GHz频段向下转换为3.55GHz的中频（IF），您可以获得在经济且紧凑的解决方案中测量和分析5G信号所需的性能。快速将5G解决方案推向市场运营商正争先恐后地在新市场部署5G无线技术。