量器具校验江西-第三方公司

量器具校验江西-第三方公司量器具校验江西-第三方公司
世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究

在航天领域，常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量，其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下，并且待测压力微小，此外还要求小型化、低功耗，故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。

对于均匀介质中的传输，时间轴等效于距离轴。快速傅里叶(FFT)正反变换是矢量网络分析仪实现时域分析的基础。用矢量网络分析仪时域分析时，需要根据被测件电长度L界定模糊距离，从而定义频率间隔Δf；需要根据需求定义电长度分辨率（时间间隔分辨率），从而定义频率宽度SPAN。无模糊距离时间（长度）分辨率注意，单端（S11）测试距离和时间，信号往返，是双端单向传输（S21）的2倍。如果被测线缆的电长度小于无模糊距离的2倍时，连接线缆单端（S11）测试的末端要连接匹配负载，否则末端路或短路会在测试范围内产生模糊信号。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等，因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*，且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段，使其能够适应高温环境，即能*终满足测试的要求。

高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高温材料外壳和支撑架，部件连接采用固体焊接等耐高温工艺，实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量，并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施，提高了抗冲击、振动能力。
量器具校验江西-第三方公司

它们具有非常线性（在1kHz/94dBSPL时，总谐波失真（HarmonicDistortion，简称HD）为.1%或更优），且动态范围也很宽（通常优于3dBA至12dBA）。此外，MEMS麦克风对温度变化的敏感性很小，同样地，它们的麦克风振膜小巧轻薄，以至于对振动的敏感性比静电式麦克风低1倍以上。另外，MEMS麦克风大规模消费电子市场，因此价格也非常便宜。它们的灵敏度随时间变化依然非常稳定，通常不需要重新校准即可保持在I型规范的范围内。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境，我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统，通过高低温真空试验装置和人机软件的结合，为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。

1、传感器测量原理

(1) 微压力测量原理

高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理，根据Fabry-Perot共振效应，F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示，为传感器原理示意图，感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理，压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变，从而改变F-P腔腔长，引起干涉谱变化，通过测量干涉光谱，即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化，从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高，可感受两个镜面之间纳米级的位移变化，可满足500 Pa微小压力的测量需要。

量器具校验江西-第三方公司

校准过程：2.4mm三端口耦合器（双阴一阳），244双端口2.4mm电子校准件（端口阴一阳），3672D矢量网络分析仪。电子校准件与被测件不匹配，选择混合校准。详细过程为：测试被测件在测试电缆端连接被测耦合器，根据测试需求设定测量参数，测试指标即为被测件真实特性。测量关键点电校准方式选取：如果被测件与电子校准件、网络仪匹配，可以直接采用全自动电子校准；否则需使用电子与机械的混合校准模式。如双端口双阳3.5mm同轴转接器或滤波器，可使用完全匹配的243双阳电子校准件进行全自动电子校准；如果使用243阴阳电子校准件，也需要选用电子与机械的混合校准功能，每个端口连接243阳头，直通选用机械转接器非插入直通。

(2) 传感器的仪器校准原理

在传感器探头确定的情况下，参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得，而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。

将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境，通过标准具得到压力、温度的标准量，通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线，再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线，用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系，从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较，可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。

量器具校验江西-第三方公司MSX增强功能将重要的可见光细节信息，如：数字、标签等添加入实时拍摄、存储和UltraMax（超级放大）热图像中，便于轻松。同类热成像仪的灵敏度.2°C，获得更出众的图像质量和更精细的热图像。温度范围校准高达2℃，测量温度的目标物。人体工程学覆盖所有角度-更快成像-工作更舒适FLIRT6系红外热成像仪机具有无与伦比的灵活性，能够非常轻松地瞄准、聚焦和使用。旋转的聚光装置可上下旋转12度自动定向可切换屏幕数据为肖像视图或风景视图 速的自动对焦、手动控制，以及更出色的成像快速通信即时生成数据，更快速地返回决策借助无线途经或FLIR工具（PC或Mac版）分享图像和嵌入表数据。