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世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究

在航天领域，常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量，其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下，并且待测压力微小，此外还要求小型化、低功耗，故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。

线性功能的典型应用测试验证电子产品对供电电网突变的抗扰能力。线路输出示意图序列功能（List）序列功能（List）非常强大，可轻松模拟许多复杂的输出波形，对输出电压、频率、时间等设定组合，按顺序调用实现，就像堆俄罗斯方块一样，可让多种类型的波形按照预先设置的序列输出。PWR-Controller软件支持excel表格编辑以及导入导出。序列功能（List）典型应用模拟特定输出波形验证电子产品性能和功能。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等，因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*，且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段，使其能够适应高温环境，即能*终满足测试的要求。

高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高温材料外壳和支撑架，部件连接采用固体焊接等耐高温工艺，实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量，并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施，提高了抗冲击、振动能力。
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我们选择波特率500kbps的通信速率，用ZLG的CANScope发送CAN报文，CAN卡接收报文。先调整Stressz的设置，模拟总线长度为10m，终端电阻为120欧姆，Stressz的设置如所示。模拟线缆长度为10m打CANScope报文接收，可以正常接收报文，将CANL线短接到GND后，从示波器上看CANL电压为0V，但是报文正常接收，如：从示波器上差分电压还能够进行清晰的辨识。CANL短路通讯正常但是实际应用现场，CAN总线的传输距离比较长，当我们模拟总线长度为120m时，我们再看看通讯质量，先把Stressz设置为线缆长度为120m。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境，我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统，通过高低温真空试验装置和人机软件的结合，为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。

1、传感器测量原理

(1) 微压力测量原理

高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理，根据Fabry-Perot共振效应，F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示，为传感器原理示意图，感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理，压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变，从而改变F-P腔腔长，引起干涉谱变化，通过测量干涉光谱，即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化，从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高，可感受两个镜面之间纳米级的位移变化，可满足500 Pa微小压力的测量需要。

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一个由意大利、菲律宾人员组成的研究小组一直在使用FLIR的红外热像仪来研究位于菲律宾的令人惊叹的普林塞萨港地下河洞穴系统中的蝙蝠的行为。研究人员希望这项技术能够让他们更深入地了解蝙蝠群的规模和特性，而且掌握了这项技术也将有助于他们在未来多年保护这些物种。普林塞萨港地下河位于巴拉望岛中西部海岸菲律宾群岛的西南部，是世界上 长的地下河。该地区包括世界上 令人印象深刻的洞穴系统之一，该洞穴系统已被联合国教科文组织列为世界遗产。

(2) 传感器的仪器校准原理

在传感器探头确定的情况下，参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得，而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。

将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境，通过标准具得到压力、温度的标准量，通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线，再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线，用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系，从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较，可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。

检测设备外校台州-校验公司着色为红用于告消防员当前的危险。在这种情况下，FLIRK系列红外热像仪在显示屏上显示“+65°C”，同时保持均衡的低灵敏度模式，不牺牲图像细节显示。FLIRK系列红外热像仪的设计旨在经受 恶劣的消防条件，能耐受从2米高处跌落到混凝土地面上，防水等级达IP67，同时能在高达+26°C条件下满负荷运转5分钟。值得一提的是，FLIRK65完全符合美国 防火协会（NFPA）针对热像仪的181-218标准。