测试仪表校验嘉兴-计量单位

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世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究

在航天领域，常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量，其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下，并且待测压力微小，此外还要求小型化、低功耗，故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。

USBCAN-8E-U可以8个CAN口同时独立工作，且可在配置完成后脱离PC独立工作，从而大大降低电脑的销。USBCAN-8E-U4.总结致远电子USBCAN-E-U、USBCAN-2E-U、USBCAN-4E-U、USBCAN-8E-U均支持底层计时，USBCAN-8E-U更是拥有多达8路独立CAN通信接口，因此特别适合于大数量、分布式的CAN设备老化测试。丰富的接口及函数库资源可快速用于产品可发及测试，隔离模块绝缘电压DC2500V，静电等级接触放电达±8KV，极大程度提高了CAN接口卡工作安全系数，保证测试安全。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等，因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*，且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段，使其能够适应高温环境，即能*终满足测试的要求。

高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高温材料外壳和支撑架，部件连接采用固体焊接等耐高温工艺，实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量，并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施，提高了抗冲击、振动能力。
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本文将描述精度、分辨率和动态范围之间的差异。本文还将揭示信号链内部的不性是如何累积并导致误差的。定义新设计的系统参数时，这些内容对于理解如何正确或选择一个ADC有着重要作用。精度、分辨率与动态范围许多转换器用户似乎在互换使用精度和分辨率这两个术语，但这种法是错误的。精度和分辨率这两个术语并不相等，但是具有相关性，所以，不应互换使用。可以把精度和分辨率视为堂兄，但不是双胞胎。精度就是误差，或者说测量值偏离真值的幅度。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境，我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统，通过高低温真空试验装置和人机软件的结合，为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。

1、传感器测量原理

(1) 微压力测量原理

高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理，根据Fabry-Perot共振效应，F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示，为传感器原理示意图，感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理，压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变，从而改变F-P腔腔长，引起干涉谱变化，通过测量干涉光谱，即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化，从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高，可感受两个镜面之间纳米级的位移变化，可满足500 Pa微小压力的测量需要。

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校准过程：2.4mm三端口耦合器（双阴一阳），244双端口2.4mm电子校准件（端口阴一阳），3672D矢量网络分析仪。电子校准件与被测件不匹配，选择混合校准。详细过程为：测试被测件在测试电缆端连接被测耦合器，根据测试需求设定测量参数，测试指标即为被测件真实特性。测量关键点电校准方式选取：如果被测件与电子校准件、网络仪匹配，可以直接采用全自动电子校准；否则需使用电子与机械的混合校准模式。如双端口双阳3.5mm同轴转接器或滤波器，可使用完全匹配的243双阳电子校准件进行全自动电子校准；如果使用243阴阳电子校准件，也需要选用电子与机械的混合校准功能，每个端口连接243阳头，直通选用机械转接器非插入直通。

(2) 传感器的仪器校准原理

在传感器探头确定的情况下，参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得，而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。

将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境，通过标准具得到压力、温度的标准量，通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线，再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线，用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系，从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较，可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。

测试仪表校验嘉兴-计量单位现在人们把这种光栅称为计量光栅，以示区别于其他的光栅。 近一些年，光栅式传感器在精密测量领域中的应用得到了迅速的发展。光栅式传感器有如下特点：?精度髙。光栅式传感器在大量程测量长度或直线位移方面仅仅低于激光干涉传感器。在圆分度和角位移测量方面，一般认为光栅式传感器是精度 髙的一种。?大量程测量兼有髙分辨力。感应同步器和磁栅式传感器也具有大量程测量的特点，但分辨力和精度都不如光栅式传感器。?可实现动态测量，易于实现测量及数据的自动化。