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世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究

在航天领域，常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量，其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下，并且待测压力微小，此外还要求小型化、低功耗，故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。

本文讨论几个能够展示这种测试价值的例子。个例子是关于“扩频时钟发生器(SSCG)”的辐射特性，分别在“关”和“”的状况下对其扫描。在第二个例子中，设计团队对比了第二代半双工串行解串器(串行器/解串器)系统与第三代全双工系统。结果验证了新一代功能及其优势，不但帮助客户缩短了产品上市时间，并在客户中产生了积极的影响。极近场EMI扫描技术快速磁性极近场测量仪器可以捕获和显示频谱和实时空间扫描结果的可视图像。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等，因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*，且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段，使其能够适应高温环境，即能*终满足测试的要求。

高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高温材料外壳和支撑架，部件连接采用固体焊接等耐高温工艺，实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量，并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施，提高了抗冲击、振动能力。
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AGV在智能工厂、智能仓储上得到了广泛应用，技术上获得了迅猛发展，衍生出了多种方式，不同的方式有何特点？谁会成为未来主流的方式呢？AGV简介AGV即自动导向小车（AutomatedGuidedVehicle），因具有良好的柔性和较高的可靠性，能够减少工厂对劳动力的需求，提高产品设备在运输中的安全性且容易，维护方便，已经广泛的应用于自动化仓储系统、智能工厂、智能生产等领域。图1AGV工作场景在应用环境中，往往由多台AGV组成自动导向小车系统，该系统通过WIFI或其他传输链路，控制AGV动作。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境，我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统，通过高低温真空试验装置和人机软件的结合，为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。

1、传感器测量原理

(1) 微压力测量原理

高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理，根据Fabry-Perot共振效应，F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示，为传感器原理示意图，感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理，压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变，从而改变F-P腔腔长，引起干涉谱变化，通过测量干涉光谱，即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化，从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高，可感受两个镜面之间纳米级的位移变化，可满足500 Pa微小压力的测量需要。

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在科学技术高度发展的今天，现代精密测量技术对一个 的发展起着十分重要的作用。如果没有先进的测量技术与测量手段，就很难设计和出综合性能和单相性能均优良的产品，更谈不发展现代高新 技术，因此世界各个工业发达 都很重视和发展现代精密测量技术。精密坐标测量精密测量技术现代精密测量技术是一门集光学、电子、传感器、图像、及计算机技术为一体的综合叉学科，涉及广泛的学科领域，它的发展需要众多相关学科的支持。

(2) 传感器的仪器校准原理

在传感器探头确定的情况下，参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得，而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。

将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境，通过标准具得到压力、温度的标准量，通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线，再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线，用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系，从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较，可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。

测试设备校验自贡-认证单位严格地讲，流量仪表的离线检定结果只能说明其在检定条件下的计量特性，大多数的实际使用现场环境条件、仪表的条件和操作条件与检定条件相比有很大不同，这样会给流量仪表带来附加误差，而附加误差大小总是以一定的经验主观判断的，所以离线检定对于流量测量结果要求不高，或者说即使有附加误差也能满足预期的测量要求，不失为一种简单易行的选择。对物性参数影响的修正程度不同几乎所有流量测量仪表的测量结果都受到被测介质有关物性参数的影响，只是影响程度不一样。