计量器具校正淮北-计量公司

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世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究

在航天领域，常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量，其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下，并且待测压力微小，此外还要求小型化、低功耗，故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。

测试的是信号边沿时间，边沿时间是指隐性电平到显性电平时间和显性电平到隐性电平变化的总时间。隐性电平(逻辑值0)到显性电平(逻辑值1)时间为上升沿，显性电平到隐性电平为下降沿。边沿时间分为上升沿时间、下降沿时间。下降沿时间是按照电压(20%~80%电压区间，有些按照10%~90%电压区间测量边沿时间，文中以20%~80%电压区间测量边沿时间)。表中给出时间范围，如果超出规定时间，会造成波形位宽增加，采样点取值不准确，波特率异常，出现大量错误帧，一直重发数据帧也会造成CAN总线通信瘫痪。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等，因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*，且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段，使其能够适应高温环境，即能*终满足测试的要求。

高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高温材料外壳和支撑架，部件连接采用固体焊接等耐高温工艺，实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量，并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施，提高了抗冲击、振动能力。
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特别是气体容量法测碳、碘量法定硫，既快速又准确，是我国碳、硫联合测定 常用的方法，采用此方法的碳硫分析仪的精度，碳含量下限为.5%，硫含量下限为.5%，可满足大多数场合的需要。重量法：常用碱石棉吸收二氧化碳，由“增量”求出碳含量。硫的测定常用湿法，试样用酸氧化，转变为硫酸盐，然后在 介质中加入 ，生成硫酸钡，经沉淀、过滤、洗涤、灼烧，称量 计算得出硫的含量。重量法的缺点是分析速度慢，所以不可能用于企业现场碳硫分析，优点是具有较高的准确度，至今仍被作为标准方法，适用于标准实验室和研究机构。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境，我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统，通过高低温真空试验装置和人机软件的结合，为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。

1、传感器测量原理

(1) 微压力测量原理

高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理，根据Fabry-Perot共振效应，F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示，为传感器原理示意图，感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理，压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变，从而改变F-P腔腔长，引起干涉谱变化，通过测量干涉光谱，即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化，从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高，可感受两个镜面之间纳米级的位移变化，可满足500 Pa微小压力的测量需要。

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它们通常均可承受1万次疲劳寿命，但是具体次数依载荷水平和传感器材料而定。耐疲劳力传感器则可承受数百万次甚至亿次载荷循环，且不会影响力传感器的性能。对于测试应用工程师而言，有多种类型的力传感器可供选择，包括多弯曲梁式、多柱式和剪切力等。而这些正是所有可能的力传感器外形和配置的基本组成模块。力传感器的结构材料通常（但不限于）有碳钢、不锈钢和铝等。多弯曲梁式力传感器通常具有较小的量程（≤22kN），并且具有一个轮状悬臂梁设计的性体。

(2) 传感器的仪器校准原理

在传感器探头确定的情况下，参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得，而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。

将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境，通过标准具得到压力、温度的标准量，通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线，再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线，用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系，从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较，可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。

计量器具校正淮北-计量公司电磁传感器用于洗碗机中控制喷水臂的。许多其他家电中也使用了先进的传感器。非接触式检测系统，，用于温度控制的微热电偶红外传感器，它还可以用于炊具、头发护理器具和烤面包机中。流量传感器可用于电扇和真空吸尘器中空气质量的检测。加速度和坡度传感器可用在电奥斗中。智能多气体传感器(人造鼻)可用于自动陪烤控制中。用于加热和温度控制方面的传感器有:温度传感器和关、压力传感器和关、气体和液体流量传感器。