计量器具校准宁波-CNAS检测机构

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世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究

在航天领域，常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量，其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下，并且待测压力微小，此外还要求小型化、低功耗，故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。

用DSA13A可以对测试滤波器简单的定性分析，测试方法和实测效果如下图所示。应用实例图测试连接方法为了确保通带测量具有高的幅度精度，要求有好的原始和经修正的系统特性。所以要归一化的操作。首先如所以，用线缆将TG输出的GENOUTPUT与频谱的RFINPUT连接，图连接GENOUTPUT与RFINPUT连接后，归一化的操作。图归一化前后比较根据测试的具体滤波器，设置频谱仪的参数。此测试中，将中心频率CenterFreq设定为2GHz，带宽Span设定为1MHz。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等，因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*，且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段，使其能够适应高温环境，即能*终满足测试的要求。

高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高温材料外壳和支撑架，部件连接采用固体焊接等耐高温工艺，实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量，并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施，提高了抗冲击、振动能力。
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在自动驾驶前车制动测试中，测试工程师会时刻关注并记录两车运动过程中的速度、加速度、横纵向相对距离以及判断触发AEB时刻起到 刹停时自动驾驶车辆的加速度，刹停时相对于车的相对距离等高精度数据是否满足《重庆市自动驾驶道路测试准入测试规范》中的测试要求。行人横穿紧急制动测试自动驾驶车辆以要求车速在测试车道上行驶，行人会在适当的时机横穿测试道路，测试自动驾驶车辆是否能触发AEB并且是否会与行人发生碰撞。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境，我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统，通过高低温真空试验装置和人机软件的结合，为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。

1、传感器测量原理

(1) 微压力测量原理

高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理，根据Fabry-Perot共振效应，F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示，为传感器原理示意图，感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理，压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变，从而改变F-P腔腔长，引起干涉谱变化，通过测量干涉光谱，即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化，从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高，可感受两个镜面之间纳米级的位移变化，可满足500 Pa微小压力的测量需要。

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源测量单元(SMU)是一种可以电流或电压，并测量电流和电压的仪器。SMU用来对各种器件和材料进行I-V表征，是为测量非常灵敏的弱电流，同时或扫描DC电压而设计的。在拥有长电缆或其他高电容测试连接的测试系统中，某些SMU可能不能在输出上容忍这样的电容，从而产生有噪声的读数和/或振荡。泰克日前为Keithley4200A-SCS参数分析仪推出两款源测量单元(SMU)模块。4201-SMU中等功率SMU和4211-SMU高功率SMU(选配4200-PA前置放大器)可以进行稳定的弱电流测量，包括在高测试连接电容的应用中也非常稳定，使用非常长的三芯同轴电缆来连接器件的应用。

(2) 传感器的仪器校准原理

在传感器探头确定的情况下，参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得，而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。

将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境，通过标准具得到压力、温度的标准量，通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线，再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线，用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系，从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较，可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。

计量器具校准宁波-CNAS检测机构多路电源通过多通道输出的输出功率是大小规格不等的，所以在实际测试时，工程师就需要购数个单通道且不同规格的电子负载进行测试。除了昂贵的设备成本以外，占用的空间也非常大，且工程师需要对每台设备进行设置操作，并且无法便捷地同步观察测试数据，很可能很长时间都无法完成几个模块的测试，效率很低。所以在实际的工作中，更多的工程师会选择多通道的电子负载来进行测试，这样不但工作效率大为提高，测试数据也更为 。艾德克斯的IT87系列多通道电子负载采用了抽换式模块设计，该系列电子负载共有8种型号的模组，从2W到6W，工程师可以自由搭配模块。