测试设备校正南京-检验报告

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世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究

在航天领域，常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量，其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下，并且待测压力微小，此外还要求小型化、低功耗，故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。

现今的汽车平均带有5多个不同的传感器，用于监控各种物理变量。由于制动器的使用增加，因而要求传感器相应的输入值，所以这个数字还会继续增长。此外，对信号系统的需求正在增加，模拟数据传输技术所受到的限制变得明显了，所以工程师面对的挑战已经变成如何将传感器组变换成一个的高性能数字子系统。驱动传感器的LIN总线技术结合现今电压调制和电流调制方式的优点，可以实现数字数据的管理。爱特梅尔公司能够所有必须的产品，而无需依赖于LIN应用的集成水平。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等，因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*，且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段，使其能够适应高温环境，即能*终满足测试的要求。

高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高温材料外壳和支撑架，部件连接采用固体焊接等耐高温工艺，实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量，并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施，提高了抗冲击、振动能力。
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再将各单元仪表箱输出的4～20MA模拟信号连接到多点 或控制执行机构，又可通过RS-232口与计算机，打印机等设备进行数据通讯。本系统中的测温单元通常选用精度较高。切换测温系统：该系统是通过将于各测温点的红外探头信号连接到一台多点测温仪上进行信号。并分别输出与各测温点相应的1～5V温度信号,供多点 记录，同时也可直接通过RS232口把温度数据输入计算机，由计算机分析,还可接打印机直接把温度数据打印出来。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境，我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统，通过高低温真空试验装置和人机软件的结合，为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。

1、传感器测量原理

(1) 微压力测量原理

高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理，根据Fabry-Perot共振效应，F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示，为传感器原理示意图，感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理，压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变，从而改变F-P腔腔长，引起干涉谱变化，通过测量干涉光谱，即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化，从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高，可感受两个镜面之间纳米级的位移变化，可满足500 Pa微小压力的测量需要。

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宽带射频微波放大器是射频硬件电路中不可缺少器件，放大器的性能参数如增益、1dB压缩点、3dB交调等常规参数被工程师所熟知，随着技术的发展，放大器1dB压缩点越来越高，如1dB压缩点放大器达到3dBm，那测试放大器压缩点就需要更宽的频段和更高的输入激励功率。中电仪器研制的1465系列微波信号发生器（（H6选件）可对放大器增益、1dB压缩点进行准确参数测试。系列微波信号发生器（1W大功率选件）大功率输出（典型值1W），从1MHz～2GHz具有优异的功率准确度和.1dB功率分辨率。

(2) 传感器的仪器校准原理

在传感器探头确定的情况下，参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得，而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。

将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境，通过标准具得到压力、温度的标准量，通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线，再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线，用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系，从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较，可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。

测试设备校正南京-检验报告实践表明，诸如FLIRX6900sc的高性能的热像仪比FLIRE40的经济型热像仪的精度效果要好，我们仍需要些工作来更好地解释这一观察结果。实验室测量值和±1?C或1%精度我们发现在观察已知发射率和温度的物体时，热像仪实际产生的温度测量值。此类物体一般指代为“黑体”。在引用已知发射率和温度的物体的理论概念前，你可能听说过这个术语。黑体的这一概念也用来指代一些实验室设备。.位于美国佛罗里达州尼斯维尔的FLIR温度记录校准实验室。