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世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究

在航天领域，常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量，其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下，并且待测压力微小，此外还要求小型化、低功耗，故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。

真正用C2去现场的时候，发现其的特点是直观，清晰，功能齐全，能够快速的查出问题的所在点，并且能检测修复的情况。专业的图像分析软件，使结果更加的数据化，更加有说服力。总体感觉C2很好，物超所值。通过靳工的产品体验过程，我们可以看出FLIRC2口袋式红外热像仪，能以红外热图像的形式清楚显示设备的能量损耗，发现潜藏的设备缺陷。其实，优点不仅仅如此，FLIRC2质地轻盈、结构轻薄，适合放入各种工作服的口袋中，电气工程师可以随身携带，随时随地的发现问题，可谓是电气工程师设备巡检的贴心工具。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等，因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*，且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段，使其能够适应高温环境，即能*终满足测试的要求。

高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高温材料外壳和支撑架，部件连接采用固体焊接等耐高温工艺，实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量，并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施，提高了抗冲击、振动能力。
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它带有红外测温探头，维护人员只需俯下身，表笔探针就能接触到蓄电池的负极柱，、安全测量它的温度，在屏幕界面中直接看到结果，让那些老旧电池无所遁形。福禄克的蓄电池分析仪配有标准的BTL1测试笔和2套不同长度的长表笔。别小看小小的测试表笔头，它可大有学问，集成了液晶显示器、语音反馈、三色指示灯和远程保存键，不管电池柜大小如何，只要按需更换测试表笔头，就能应对多种测试环境，在空间狭小的电池柜中同样也能应付自如。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境，我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统，通过高低温真空试验装置和人机软件的结合，为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。

1、传感器测量原理

(1) 微压力测量原理

高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理，根据Fabry-Perot共振效应，F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示，为传感器原理示意图，感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理，压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变，从而改变F-P腔腔长，引起干涉谱变化，通过测量干涉光谱，即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化，从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高，可感受两个镜面之间纳米级的位移变化，可满足500 Pa微小压力的测量需要。

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传感器口径的选择要点选择传感器的口径与连接的工艺管道口径相同其优点是方便（不需异径管）；其前提是管内流体的流速须在.3m/s—1m/s范围内；其适用状态为工程前期使用且管内流体流速处于较低状态。选择传感器的口径与连接的工艺管道口径不相同其适用状态：流速偏低、流量稳定；降低性价比。衬里材料的选择要点根据本企业被测介质的腐蚀性、磨损性及温度，由者选定，可参阅各厂家的“衬里材料性能及适用范围表”。

(2) 传感器的仪器校准原理

在传感器探头确定的情况下，参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得，而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。

将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境，通过标准具得到压力、温度的标准量，通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线，再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线，用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系，从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较，可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。

量具校准宝-校验公司实践表明，诸如FLIRX6900sc的高性能的热像仪比FLIRE40的经济型热像仪的精度效果要好，我们仍需要些工作来更好地解释这一观察结果。实验室测量值和±1?C或1%精度我们发现在观察已知发射率和温度的物体时，热像仪实际产生的温度测量值。此类物体一般指代为“黑体”。在引用已知发射率和温度的物体的理论概念前，你可能听说过这个术语。黑体的这一概念也用来指代一些实验室设备。.位于美国佛罗里达州尼斯维尔的FLIR温度记录校准实验室。