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世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究

在航天领域，常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量，其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下，并且待测压力微小，此外还要求小型化、低功耗，故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。

天信涡轮流量计基础功能强大多场景应用天信涡轮流量计 261标准要求，获得NMi欧盟认证，同时通过计量器具指令MID认证和压力设备指令PED认证，已在 十多个 使用。天信涡轮流量计从设计之初，到、检测，都会受到了打磨，保证其在送往不同地区“服务”后 计量、长期稳定运行。天信涡轮流量计具有以下功能：准确度高：一般1.0级。高准确度的有0.5级、0.2级重复性好：一般可达0.05％～0.1％范围度宽：DN50口径及以上的一般可达20：1以上压力损失较小：在常压下一般在0.1～2.5kPa。由于一般采用脉冲频率信号输出，适于总量计量及与计算机连接，无零点漂移，抗干扰能力强。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等，因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*，且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段，使其能够适应高温环境，即能*终满足测试的要求。

高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高温材料外壳和支撑架，部件连接采用固体焊接等耐高温工艺，实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量，并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施，提高了抗冲击、振动能力。
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如果长时间测量之后，建议按照上述步骤再一次进行校零操作。如所示为测量功率为-65dBm，频率为5GHz连 703系列峰值探头测量小功率信号使用81702系列峰值探头测量脉冲信号，当脉冲功率小于-10dBm时，或者使用81703系列峰值探头测量的脉冲功率小于-25dBm时，此时触发电平受噪底的影响比较大，脉冲功率波动的也比较大，从而导致内部触发方式触发不到或者触发不稳定，直接影响信号测量波形和自动测量参数无法测量或者测量结果不稳定。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境，我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统，通过高低温真空试验装置和人机软件的结合，为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。

1、传感器测量原理

(1) 微压力测量原理

高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理，根据Fabry-Perot共振效应，F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示，为传感器原理示意图，感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理，压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变，从而改变F-P腔腔长，引起干涉谱变化，通过测量干涉光谱，即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化，从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高，可感受两个镜面之间纳米级的位移变化，可满足500 Pa微小压力的测量需要。

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全新FlukeTi45SF6气体检漏热像仪集高质量红外热像仪与SF6气体检漏仪于一身，在无需关断设备的情况下即可清晰看到SF6泄漏点。Ti45SF6可作为高压电气人员的日常维护工具，使其能够随时、随地进行红外温度场和气体泄露检查，再也不必等到年度或两年一次的泄漏检查和昂贵的设备租借或外包费用，所以能够根据需要进行维护，降低设备损坏隐患。 (SF6)因优良的灭弧特性，被广泛应用于高压电气设备绝缘；又因其是极强的温室气体需要实时监控并检测泄漏的情况。

(2) 传感器的仪器校准原理

在传感器探头确定的情况下，参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得，而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。

将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境，通过标准具得到压力、温度的标准量，通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线，再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线，用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系，从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较，可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。

仪器外校湖州-CNAS检测机构均值抽取均值抽取均值抽取同样把原始采样波形分成若干段，每段各自算出平均值，作为该段的抽取点。这种方案可以认为是前两种方案的折中，通过求均值，既保证相邻点之间的时间间隔均等，又尽可能使抽取波形与原波形保持一致；但是也存在对于太高频的信号，峰值会被过滤掉，无法反映信号的峰值。我们再来看第二种情况：波形片段中的采样点数少于屏幕显示区域的像素数。这种情况就需要在采样点间填充虚构的采样点来解决。直接填充直接填充在需要填充虚构采样点的位置上，直接复制前面一个真实采样点。