测试仪表校正内江-校验公司

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世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究

在航天领域，常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量，其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下，并且待测压力微小，此外还要求小型化、低功耗，故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。

即使尖峰频率高于器件的额定带宽，也需要在器件的输入端进行滤波以解决此问题。其他应用，如DC-DC转换器和电源应用也可能需要在电流检测放大器的输入端进行滤波。所示为建议的输入滤波原理图。.输入滤波补偿小于1mΩ的分流电阻的并联电感，以及任何应用中的高频噪声由于滤波电阻的增加电阻和它们之间的相关电阻失配会对增益、共模比（CMRR）和VOS产生不利影响，所以输入滤波是复杂的。对VOS的影响部分还归咎于输入偏置电流。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等，因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*，且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段，使其能够适应高温环境，即能*终满足测试的要求。

高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高温材料外壳和支撑架，部件连接采用固体焊接等耐高温工艺，实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量，并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施，提高了抗冲击、振动能力。
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如今的系统、数据通信系统、复杂计算机系统等都依赖于高速串行数据传输，而前沿数字设计师们往往将系统能够达到的性能极限施压于铜材。随着超过1Gbps的串行链路的增多，信号完整性问题始暴露出来，针对这类高速通道的物理层进行信号完整性优化，会收到惊人的效果。如果采用合适的设计工具和设计方法，我们就能清楚地了解信号传输的基本原理。为了打破兆兆位的界限，网络机和路由器中采用了一种先进的背板技术。这一成就部分得益于物理层元件中复杂的设计技术。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境，我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统，通过高低温真空试验装置和人机软件的结合，为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。

1、传感器测量原理

(1) 微压力测量原理

高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理，根据Fabry-Perot共振效应，F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示，为传感器原理示意图，感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理，压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变，从而改变F-P腔腔长，引起干涉谱变化，通过测量干涉光谱，即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化，从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高，可感受两个镜面之间纳米级的位移变化，可满足500 Pa微小压力的测量需要。

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投影比较仪的流行基于一个简单而为大家所熟知的事实：使用方便，非常适合在生产车间现场使用。目前，投影比较仪的销量并不逊于甚至超过了视觉测量系统的销量（虽然年轻一代的工人可能更欣赏摄像机和 器）。投影比较仪的优点是经久耐用，而且属于低技术产品，结构相当简单（仅包括一个工作台、一组透镜、一个光源、一个投影屏和一面反射镜）。今后，投影比较仪在车间的作用或许会被摄像测量系统所取代（目前测量系统通常安放在计量室，主要用于终检工序）。

(2) 传感器的仪器校准原理

在传感器探头确定的情况下，参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得，而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。

将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境，通过标准具得到压力、温度的标准量，通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线，再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线，用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系，从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较，可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。

测试仪表校正内江-校验公司在频谱分析仪中，内部的微器可以改变中频增益从而补偿输入衰减器的变化。所以当改变输入衰减器时，分析仪输入的信号在显示器上的位置并不改变，只是显示的噪声上下。这时参考电平保持不变。如下图所示，当衰减从10dB增加到20dB，DANL上升而信号电平保持不变。的输入衰减(0dB)将会获得信噪比，但不幸的是此时的阻抗匹配也是 差的，因此尽量避免0dB的设置。当被测信号远大于噪声电平时，可以设置为自动衰减。