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世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究

在航天领域，常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量，其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下，并且待测压力微小，此外还要求小型化、低功耗，故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。

红外测温仪器企业在行动2020的春节注定与既往不同，突如其来的新冠 ，牵动着每一个人的心弦，但越是特殊时刻越需要不恐不慌，红外热成像助力科学防疫。由于情的传染性，因此目前急需一种快速、简单、无接触（无创）的可靠方法检测人体温度升高，红外检测技术就是一个可靠便捷的检测方案。红外检测为何能好 初检工作，降低疾传播风险。先给大家普及一下什么是“红外热成像人体测温”热成像人体测温原理是什么太阳发出的光波又叫电磁波。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等，因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*，且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段，使其能够适应高温环境，即能*终满足测试的要求。

高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高温材料外壳和支撑架，部件连接采用固体焊接等耐高温工艺，实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量，并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施，提高了抗冲击、振动能力。
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带宽所指的频率是正弦波信号衰减到－3dB时的频率，而我们一般测量的数字信号都不是正选波，而是接近方波。这两者对带宽的需求是不同的。根据傅里叶变换可知，方波可以为奇次倍数频率的正弦波。比如1MHz的方波，是由1MHz、3MHz、5MHz、7MHz……等正弦波叠加而成。下图为不同滤波器下方波信号的响应。分别为把滤波器设置为方波基频频率、3次谐波频谱、5次谐波频率、7次谐波频率的方波响应。截至频率为方波频率的滤波情况截至频率为方波3次谐波频率的滤波情况截至频率为方波5次谐波频率的滤波情况截至频率为方波7次谐波频率的滤波情况可以看出想要得到较为完整的方波信息， 少需要5次谐波分量，而且如果想要获得更加准确的信息，就需要能够测量到更多的谐波分量。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境，我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统，通过高低温真空试验装置和人机软件的结合，为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。

1、传感器测量原理

(1) 微压力测量原理

高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理，根据Fabry-Perot共振效应，F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示，为传感器原理示意图，感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理，压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变，从而改变F-P腔腔长，引起干涉谱变化，通过测量干涉光谱，即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化，从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高，可感受两个镜面之间纳米级的位移变化，可满足500 Pa微小压力的测量需要。

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如欠压测试项目（V＜5%V标称），电压从标称电压下降至标称电压的5%以下，需要时间是1mS。即可在全天科技可编程交流电源中List模式中设置（如下图）V（acstart）=22V,V（acen=19V，Time=1mS；编辑电压变化步骤后保存，触发启动List程序，可编程交流电源自动执行输出。过欠频测试项目测试逆变器在规定的频率范围内（电压正常的情况下）是否可以正常工作；在规定的频率范围段，逆变器正常运行规定的时间后，停止并网供电；在规定的频率范围外则认为电网频率异常，并网逆变器停止工作。

(2) 传感器的仪器校准原理

在传感器探头确定的情况下，参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得，而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。

将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境，通过标准具得到压力、温度的标准量，通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线，再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线，用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系，从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较，可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。

轻工实验室常德-认证中心工业智能化给、生产带来了巨大的改变，物联网已经在不断地走进工业生产。工业生产数据实时采集（如MES系统）算是典型，而在工业生产信息网络中，zigbee当之无愧成为了主角。采用zigbee搭建的生产信息化管理网络工厂执行系统MES是近10年来在上迅速发展、面向车间层的生产管理技术与实时信息系统。MES系统是一套面向企业车间执行层 基础的生产信息化管理系统，可以为企业包括数据管理、计划排程管理、生产调度管理、库存管理、质量管理、工具工装管理、采购管理、底层数据集成分析、上层数据集成等等管理模块。